Завершенные проекты 2013 года

Нашими специалистами закончены пусконаладочные работы и испытания двух станций  получения  жидкого азота STIRLIN4 производства компании Stirling (www.stirlingcryogenics.com) на одном из предприятий ГК “РОСАТОМ”.

Станция обеспечивает возможность получения из атмосферного воздуха не менее 44 л/час жидкого азота с чистотой 99%.

На фото: тестирование станции на заводе-производителе.

Нижегородский Государственный Технический Университет им Р.Е. Алексеева Запущена в эксплуатацию установка электронно-лучевого осаждения тонких пленок. Установка изготовлена израильской компанией VST, имеет в составе электронно-лучевой испаритель на 6 карманов, ионную пушку и специальный подложкодержатель с возможностью охлаждения образцов до -30^oС и поворотом образца на угол ±90^o по отношению к источнику. Откачка полностью сухая и состоит из криогенного насоса и спирального насоса компании Anest Iwata. В настоящее время на установке проведено тестовое осаждение сверхпроводящей пленки титана, заказчик весьма доволен полученным с первой же попытки результатом. БФУ им. И.Канта (г. Калининград) В составе кластера запущен в работу времяпролетный масс-спектрометр на вторичных ионах (TOFF-SIMS) от компании KORE (Англия). Полученный масс-спектр с образца алюминиевой фольги: ННИИРТ (Нижний Новгород)

Запущена в эксплуатацию установка [] осаждения резистивных покрытий на образцы из поликора (48х60 мм). Установка изготовлена израильской компанией VST, имеет в составе два магнетрона диаметром мишени 100 мм и вращающийся подложкодержатель на 16 позиций образцов. Откачка полностью сухая и состоит из турбомолекулярного насоса Shimadzu на магнитной подвеске и спирального насоса компании Anest Iwata.

Пример по однородности осажденных пленок NiCr:

Run_4 T (min) Power (W) P (mTorr) Gas flow RPM 15 xxxx xxx xxx 30 Res 192,5 190,2 190,3 193,2 Rmax 193,2 Uniform:±0,83% Rmin 190

ФТИ им.А.Ф.Иоффе Запущен в работу времяпролетный масс-спектрометр на вторичных ионах (TOFF-SIMS) специально созданный под задачу заказчика английской компанией KORE Tech. Масс-спектрометр в данной спецификации предназначен для исследования ионного состава имеющегося у заказчика источника плазмы.

Отчет о работе в формате pdf.

Светлана-Электронприбор Запущена в эксплуатацию установка электронно-лучевого осаждения тонких пленок. Установка изготовлена английской компанией Moorfield, имеет в составе электронно-лучевой испаритель на 6 карманов, специальный подложкодержатель планетарного типа. Авангард (Санкт-Петербург) Заказчик получил в пользование установку травления ионным пучком английской компании Nordiko. Установка может работать с пластинами до 150 мм в диаметре, имеет загрузочную камеру и водоохлаждаемый столик с опциями как вращения образцов вокруг своей оси, так и поворота самого столика на угол по отношению к ионному пучку. Откачка системы полностью сухая и состоит из турбомолекулярного насоса Shimadzu на магнитной подвеске и сухого насоса японской компании Kashiyama. Латвийский Государственный Университет (Рига)

Заказчик получил в свое пользование CVD-установку для синтеза графена модели EasyTube 101 от компании CVD Equipment Corp (Firstnano).

Ссылка на описание установки (на английском языке)..

Установка может работать с образцами 25 х 50 мм и на ней можно получать одно-и многослойные графеновые пленки, также на ней можно провести осаждение графена на расплаве металла.