В мае 2012 года в Санкт-Петербургском государственном электротехническом университете – «ЛЭТИ» специалистами Криосистем была успешно запущена в эксплуатацию криогенная зондовая станция для электрофизических и оптических измерений эпитаксиальных слоев широко-зонных полупроводников при температурах 11К-475К (производитель Janis Research Co., LLC)
Данная станция позволяет проводить: измерения стандартных полупроводниковых подложек диаметром до 50,8 мм; оптические измерения люминесценции образцов в диапазоне длин волн 180-2000 нм.
Станция оснащена двумя микроманипуляторами с вакуумными сильфонными уплотнениями с микрометрическими винтами, позволяющими перемещать зонды в трех направлениях: в направлении пробника на расстояние до 50 мм, перпендикулярно пробнику на расстояние до 40 мм и в вертикальном направлении на расстояние до 10 мм.
В комплект входит набор прецизионных пробников для проведения электрофизических измерений, в том числе для измерения вольт-фарадных зависимостей и адмиттанса, полупроводниковых гетероструктур и чипов.
Станция установлена на специальный антивибрационный стол c виброизоляцией системы на основе пневмоподушек для гашения вертикальных и горизонтальных вибраций. Стол обеспечивает изоляцию колебаний амплитудой 1 мкм и выше на частоте 1-2 Гц.
Для точного позиционирования пробников в составе оборудования предусмотрена моноскопическая цветная оптическая система с разрешением по координате 5 мкм, максимальной кратностью увеличения 216 раз, рабочая дистанция 90 мм, поле обзора 1,4?8,8 мм.
группа компаний
КРИОСИСТЕМЫ
© 2002-2020
ГК «КРИОСИСТЕМЫ»
Все права защищены
Оборудование
- вакуумное
- криогенное
- вакуумно-термическое
О компании
- дипломы и сертификаты
- вакансии
Наши проекты
- имитаторы космического пространства
- работы на промышленных установках различных ведомств
- исследовательские установки для высокотехнологичных применений
- криогенные установки и исследовательские низкотемпературные криостаты
Услуги
- сертифицированный ремонт и обслуживание
- ввод оборудования в эксплуатацию
- разработка и изготовление вакуумного оборудования
Контакты
115088, Россия, Москва
"IQ-park", ул. Угрешская,
д.2, стр.22
+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67