На выставке SEMICON Russia 2014 прошла презентация масс-спектрометра Granville-Phillipsдля контроля остаточной атмосферы в вакуумных объемах. Руководитель направления оборудования для микро- и наноэлектроники Виктор Владимирович Кочетков рассказал о преимуществах данного вида устройств.
Характерной особенностью этого масс-спектрометра лежит принцип работы, позволяющий увеличить скорость работы прибора по сравнению сквадрупольным масс-спектрометром более чем в 20 раз, уменьшить энергопотребление и значительно ускорить время его калибровки. Также новый прибор позволяет распознавать наличие крайне малого количества газов, которые не могут быть обнаружены квадрупольными масс-спектрометрами.
группа компаний
КРИОСИСТЕМЫ
© 2002-2020
ГК «КРИОСИСТЕМЫ»
Все права защищены
Оборудование
- вакуумное
- криогенное
- вакуумно-термическое
О компании
- дипломы и сертификаты
- вакансии
Наши проекты
- имитаторы космического пространства
- работы на промышленных установках различных ведомств
- исследовательские установки для высокотехнологичных применений
- криогенные установки и исследовательские низкотемпературные криостаты
Услуги
- сертифицированный ремонт и обслуживание
- ввод оборудования в эксплуатацию
- разработка и изготовление вакуумного оборудования
Контакты
115088, Россия, Москва
"IQ-park", ул. Угрешская,
д.2, стр.22
+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67