Видео масс-спектрометр Granville-Phillips

На выставке SEMICON Russia 2014 прошла презентация масс-спектрометра Granville-Phillipsдля контроля остаточной атмосферы в вакуумных объемах. Руководитель направления оборудования для микро- и наноэлектроники Виктор Владимирович Кочетков рассказал о преимуществах данного вида устройств.

Характерной особенностью этого масс-спектрометра лежит принцип работы, позволяющий увеличить скорость работы прибора по сравнению сквадрупольным масс-спектрометром более чем в 20 раз, уменьшить энергопотребление и значительно ускорить время его калибровки. Также новый прибор позволяет распознавать наличие крайне малого количества газов, которые не могут быть обнаружены квадрупольными масс-спектрометрами.