Установка CVD для ИНМЭ РАН

Запуск в ноябре 2019 установки химического-пароосаждения (CVD) для синтеза углеродных структур типа графена и углеродных нанотрубок.

Задача Заказчика: Синтез нанотрубок и других углеродных структур из газовой фазы методом термического разложения поступающих газов

Производитель: Установка модели CVDLab 60_1100, сконфигурированная для синтеза углеродных наноструктур при пониженном/повышенном давлении была полностью разработана и собрана в компании “Криосистемы”

Спецификация:

1. Полный набор кварцевых компонентов:

• Рабочая труба (реактор) Ø60 мм х ~1100 мм

2. 5 входных линий подачи газа с индивидуальным контролем потока каждой линии для Аргона, Углерод-содержащего газа (типа Метана или Ацетилена), Водорода, Аммика NH3 и смеси О2/Не

3. Блок управления вакуумом и давлением:

• Конвекционный датчик
• Контроллер конвекционного датчика
• Емкостной датчик до давления 10 Торр
• Дроссельный клапан автоматического типа
• Пластинчато-роторный насос (200 л/мин)

4. Стадия нагрева:

• Двухзонная печь с внутренним температурным контролем
• Зона нагрева 2 х 220 мм
• Рабочая температура процесса до 1100⁰ С
• Максимальный нагрев (краткий) до 1200⁰ С
• Точность поддержания температуры ±1°С
• Термопара тип К (х 2)
• Дверь печи ручного открывания
• Мощность печи до 3 кВт
• Управление нагревом: PID контроль

5. Дополнительно:

• Однозонная печь находится на стальной раме
• Печь имеет функцию перемещения вдоль реактора
• Один водоохлаждаемый торцевой фланец с возможностью загрузки образцов
• Один водоохлаждаемый торцевой фланец с возможностью ввода термопары в зону нагрева
• Подложка с катализатором находится на кварцевом держателе 50 х 80 мм

6. Модуль измерения водяного пара

• Байпасная линия с ручным управлением для измерения концентрации водяного пара в газовой смеси
• Измерительная камера и датчик

Фото установки