Безмасляная система откачки высоковакуумной технологической камеры объемом 40 м3 с повышенным газовыделением

Система вакуумной откачки, разработанная и смонтированная сотрудниками ГК Криосистемы, обеспечивает выход установки полезным объемом 40 м3 с атмосферного на рабочее давление (1х10-4 Торр) менее чем за 20 минут.

Форвакуумная система откачки камеры выполнена на базе безмасляных винтовых насосов:

• Насос форвакуумный винтовой Hanbell PD3012 Ду=200 мм, производительность 50 000 л/мин, производство – Тайвань.
• Насос вакуумный Рутса Kashiyama MU300, производительность 5 000 л/мин производство – Япония.
• Насос вакуумный спиральный Anest Iwata ISP-90, производительность 90 л/мин производство – Япония.

Высоковакуумная система откачки камеры выполнена на базе турбомолекулярных насосов и криогенного насоса с суммарной производительностью, обеспечивающей требуемое время откачки объема вакуумной камеры в соответствии с заданием Заказчика.

• Насос турбомолекулярный Shimadzu TMP-3304-LM Ду=320 мм, производительность по азоту 3 200 л/с, производство – Япония.
• Насос криогенный CTI Cryogenics CryoTorr-400 Ду=400 мм, производительность по воде 16 000 л/с, производство – США.

Вакуумная система обеспечивает откачку воздуха и поддержание рабочего давления в камере в во время технологического процесса. Все вакуумпроводы выполнены из нержавеющей стали.

В проекте использована вакуумная коммутационные арматура и производства компании Highlight Tech Corp (HTC):

• клапаны угловые с пневмоприводом Ду200мм AVBS-ISO200-P2 и др.;
• затворы с пневмоприводом Ду320мм GVBS-SS-ISO320-P;
• вакуумные адаптеры и фитинги ISO400, ISO320, ISO200, ISO63, ISO-KF 40 и др., а так же затвор Ду 400мм производства компании GNB G(ISO400)PSOP (Англия).