RIE-200iPС |
RIE-200iPС
Кассетная установка травления RIE-200iPС SAMCO предназначена для производственных задач. Запатентованный соленоидный катод «Tornado Coil Electrode» является ключевым элементом в создании высокоплотной плазмы. Модель RIE-200iPС является идеальным выбором для приложений, которые требуют глубокого травления SiO и составных полупроводниковых пленок, таких как InP, GaN, AlGaAs и GaAs. Области применения:
|
Характеристики базовых установок SAMCO RIE:
RIE-200iP |
RIE-200iPB |
RIE-200iPC |
|
Внешняя камера | загрузочная | загрузочная | загрузочная, кассетная |
Материал рабочих поверхностей | Нерж.сталь 304 | Нерж.сталь 304 | Нерж.сталь 304 |
Диаметр подложки, мм | 150 (200) | 150 (200) | 150 (200) |
ВЧ мощность, Вт | 1000/300 | 1000/300 | 1000/300 |
Габаритные размеры (Ш/Д/В), мм | 1000/1375/1670 | 1000/1375/1670 | 1206/2000/2010 |
группа компаний
КРИОСИСТЕМЫ
© 2002-2020
ГК «КРИОСИСТЕМЫ»
Все права защищены
Оборудование
- вакуумное
- криогенное
- вакуумно-термическое
О компании
- дипломы и сертификаты
- вакансии
Наши проекты
- имитаторы космического пространства
- работы на промышленных установках различных ведомств
- исследовательские установки для высокотехнологичных применений
- криогенные установки и исследовательские низкотемпературные криостаты
Услуги
- сертифицированный ремонт и обслуживание
- ввод оборудования в эксплуатацию
- разработка и изготовление вакуумного оборудования
Контакты
115088, Россия, Москва
"IQ-park", ул. Угрешская,
д.2, стр.22
+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67