Установка RIE-200iPС

Кассетная установка травления RIE-200iPС SAMCO предназначена для производственных задач. Запатентованный соленоидный катод «Tornado Coil Electrode» является ключевым элементом в создании высокоплотной плазмы. Модель RIE-200iPС  является идеальным выбором для приложений, которые требуют глубокого травления SiO и составных полупроводниковых пленок, таких как InP, GaN, AlGaAs и GaAs.

Области применения:

• Травление с низким повреждением InP, GaN, GaAs для производства электронных компонентов и светодиодов.
• Травление сегнетоэлектрических материалов для устройств памяти
• Высокоскоростное травление для производства микромашин.