Установка RIE-200iPB

Технические характеристики RIE-200iPB

Рабочая камера.
Материал — алюминий, диаметр 440мм, поверхность с антикоррозионным покрытием, смотровое окно диаметром 37мм.

Электроды.
Нижний электрод:
— материал — нержав. cталь, диаметр 208мм, водяное охлаждение;
— электростатичный «chuck» (крепление) для 6-дюймовых пластин;
— гелиевое охлаждение тыльной стороны.
Электрод индуцируемой плазмы:
— медный соленоидный катод «Tornado Coil Electrode» с воздушным охлаждением;
— 100мм фиксированный зазор между электродами.

Высокочастотная мощность.
Индуцируемо-связанная плазма(ICP):
— 13,56 МГц, 1 кВт, кристаллический осциллятор;
— автоматическое согласование.

Камера загрузки:
— материал — алюминий, габаритные размеры: 440×520×205(Ш*Д*В);
— ручное открытие/закрытие камеры загрузки;
— перемещение пластин при помощи вакуумного робота.

Вакуумная система.
Линия вакуумного процесса:
— химическая серия, составной турбомолекулярный насос 1000 л/мин;
— химическая серия, двух ступенчатый форвакуумный насос 650 л/мин;
— автоматический контроль давления для замкнутого цикла с моторизированным шибером.
Загрузочная камера:
— 2-ух ступенчатый роторный насос 840 л/мин.

Измерение давления и управление:
— рабочая камера: Мембранный вакуумметр (13,3 до 1,33×10^-2 Па);
— ионизационный вакуумметр (13,3 до 1,33×10^-6 Па);
— камера Landlock: Кристаллический вакуумметр (Атмосфера до 10^-2 Па).

Входные газовые линии:
— 4 расходомера (стандартно);
— возможно подключение дополнительных газовых линий (в сумме до 6).

Рабочий процесс
— полностью автоматическое управление, «управление одной кнопкой» или полностью ручное управление;
— система блокировки;
— возможность хранения набора команд (в сумме до 100 команд);
— до 10 последовательных шагов для каждого набора команд.

Обязательные требования для оборудования.
Система питания:
— 380 В АС трех фазная, 75 Ампер;
— газовые процессы: 0,1 МПа;
— азотная продувка: 0,1 МПа 40 л/мин;
— гелий: 0,1 МПа;
— сжатый воздух 0,5-0,7 МПа;
— охлаждающая вода: 0,2 — 0,3 МПа.

Выходной патрубок: NW25×2.

Габаритные размеры:
— основная часть: 1000 × 1375 × 1670;
— насосная часть: 680 × 880 × 540;
— циркуляционный охладитель: 1000 × 1375 × 1670.

Опции:
— запись данных;
— дополнительные газовые линии;
— система оповещения окончания процесса;
— система обработки выхлопного газа;
— система фильтрации масла.