Установка «сухого» травления RIE-200L обеспечивает превосходные результаты травления структур с минимальной боковой протравкой для широкого спектра материалов, таких как, металлы (алюминий и др.), составных полупроводников (GaAs, GaN, и т.д. ), кремния и поликристаллического кремния. Эта система обладает высокой избирательной способностью для широкого диапазона материалов масок. RIE-200L поставляется с удобной для пользователя системой контроля, которая позволяет оператору с легкостью создавать, исправлять, хранить и управлять командами процесса травления
Области применения :
|
![]() |
Рабочая камера
Камера загрузки: Нижний электрод Материал – нержав. сталь диаметр 240мм (поверхность с антикоррозионным покрытием), водяное охлаждение
|
Обязательные требования для оборудования:
Система питания:
Габаритные размеры (ШхДхВ): Рабочая камера:
Насос:
|
Перемещение пластин:
|
Высокочастотная мощность
Вакуумная система
|
Электроды
Параллельно расположенные пластины, катодное соединение, фиксированный зазор между электродами Верхний электрод: Материал – алюминий, диаметр 240мм (поверхность с антикоррозионным покрытием)
|
Измерение давления:
Реакторная камера
Входные газовые линии
|
Опции
|
Рабочий процесс
|
группа компаний
КРИОСИСТЕМЫ
© 2002-2020
ГК «КРИОСИСТЕМЫ»
Все права защищены
Оборудование
- вакуумное
- криогенное
- вакуумно-термическое
О компании
- дипломы и сертификаты
- вакансии
Наши проекты
- имитаторы космического пространства
- работы на промышленных установках различных ведомств
- исследовательские установки для высокотехнологичных применений
- криогенные установки и исследовательские низкотемпературные криостаты
Услуги
- сертифицированный ремонт и обслуживание
- ввод оборудования в эксплуатацию
- разработка и изготовление вакуумного оборудования
Контакты
115088, Россия, Москва
"IQ-park", ул. Угрешская,
д.2, стр.22
+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67