Главная › Оборудование › Вакуумное оборудование (техника) › Вакуумные системы и установки › Установки травления › Установки реактивно-ионного травления › Установка RIE-200L

Установка RIE-200L

Установка «сухого» травления RIE-200L обеспечивает превосходные результаты травления структур с минимальной боковой протравкой для широкого спектра материалов, таких как, металлы (алюминий и др.), составных полупроводников (GaAs, GaN, и т.д. ), кремния и поликристаллического кремния. Эта система обладает высокой избирательной способностью для широкого диапазона материалов масок. RIE-200L поставляется с удобной для пользователя системой контроля, которая позволяет оператору с легкостью создавать, исправлять, хранить и управлять командами процесса травления

Области применения :

Анизотропное травление кремниевых пленок для приборов УБИС
Травление металлических пленок
Травление GaAs, InP и других составных полупроводниковых пленок
Изготовление волноводных устройств
Производство микроэлектромеханические систем (MEMS).

Рабочая камера

Материал – алюминий, диаметр 440мм

Поверхность с антикоррозионным покрытием

Смотровое окно диаметром 40мм

Камера загрузки:

Нижний электрод

Материал – нержав. сталь диаметр 240мм (поверхность с антикоррозионным покрытием), водяное охлаждение

Материал – алюминий 500*535*230 (Ш*Д*В)
Одно смотровое окно с диаметром 204мм
Крышка камеры открывается и закрывается автоматически

Обязательные требования для оборудования:

Система питания:

380 В АС трех фазный
Газовые процессы: 0,1 МПа
Азотная продувка: 0,1 МПа 40 л/мин
Сжатый воздух 0,5-0,7 МПа Охлаждающая вода: 0,1 – 0,2 МПа

Габаритные размеры (ШхДхВ):

Рабочая камера:

546*1633*1580 (мм)

Насос:

540*540*520(мм)

Перемещение пластин:

Образцы перемещаются при помощи руки робота в вакууме на кварцевой пластине с диаметром 250мм

Высокочастотная мощность

13,56 МГц, 300 Вт, кристаллический осциллятор, полностью автоматическое согласование

Вакуумная система

Реакторная камера
Реакторный насос (200 л/сек) с роторным насосом (250 л/мин)
Загрузочная камера
Роторный насос (250л/мин)

Электроды

Параллельно расположенные пластины, катодное соединение, фиксированный зазор между электродами

Верхний электрод:

Материал – алюминий, диаметр 240мм (поверхность с антикоррозионным покрытием)

13,56 МГц, 300 Вт, кристаллический осциллятор

Полностью автоматическое согласование

Измерение давления:

Реакторная камера

Мембранный вакуумметр (2,66*10^-2 до 2,66*10^-2 Па)
Полнофункциональный вакуумметр (13,3 до 1,33*10^-6 Па)
Загрузочная камера
Вакуумметр Pirani (1,3*10⁴ до 1,3*10^-1 Па)
Атмосферный датчик давления

Входные газовые линии

3 расходомера (по умолчанию)

Опции

Дополнительные газовые линии MFC (в сумме до 6 линий)
Система оповещения окончания процесса. Система фильтрации масла
Форвакуумный насос

Рабочий процесс

Полностью автоматическое управление, «управление одной кнопкой» или полностью ручное управление
Хранение команд при помощи сенсорного компьютерного экрана (до 10 команд)

Установка RIE-200L

Отправить запрос