Установка RIE-1C

Система RIE-1C компании SAMCO является идеальным решением для лабораторий, которым требуется двумерное ионное травление и малое настольное пространство. Эта система обладает высокой производительностью и спроектирована для оптимизации, скорости, nоднородности и селективности травления, и специально предназначена для удаления пассивирующих материалов при проведении анализа повреждений.

Система RIE-1C также может быть использована для травления пленок на основе кремния, тугоплавких металлов, металлических силицидов   и spin-on glass (SOG) материалов. Как только набор команд задан, полная обработка подложки или устройства   запускаются   нажатием одной кнопки, включая  откачку системы, напуск потока газа, ВЧ мощность и вентиляцию камеры .  Дополнительно, в установке предусмотрена блокировка  дверцы и выключатель возврата в исходное положение  для обеспечения безопасности оператора и системы.

Технические характеристики RIE – 1C

Реактор:
— материал — кварц, диаметр 210мм, высота 62мм.

Габаритные размеры (ШхДхВ): 400 × 440 × 325.

Обязательные требования для nоборудования:
— 220В АС 50 Гц, 3 KVA;
— Охлаждающая вода: 2-3 кг/см2, 1-2 л/мин;
— Газовые процессы: 1 кг/см2;
— Азот: 1кг/см2, 10 л/мин;
— Вентиляция: Выхлопной патрубок для роторного насоса NW25.

Измерение давления:
— вакуумметр Pirani 10-3 до 10 Торр.

Система безопасности:
— блокировка двери не позволяет стартовать системе в открытом состоянии реактора;
— тумблер перезагрузки для срочной остановки системы, откачки газов и вентиляции камер.

Рабочий процесс:
— контроллер последовательности для автоматического управления вакуумной системой, вентилем и ВЧ-мощностью.

Опции
— стальной шкаф для хранения системы, ВЧ генератора и вакуумного насоса;
— емкостной вакуумметр;
— расходомер с цифровым дисплеем;
— цепь для измерения DC смещения.

Электрод с параллельными пластинами:
— верхний r электрод: материал — алюминий, диаметр 140мм, shower head;
— нижний электрод: материал — алюминии, диаметр 120мм, водяное охлаждение.

Высокочастотная мощность:
— 13,56 МГц, 0-200 В твердотельный генератор;
— цифровой экран с обозначением мощности в прямом направлении и мощность отраженной волны.

Газовые вводы:
— два ротаметра для CF4 и кислорода 5-50 SCCM (Возможна другая калибровка газа);
— одна газовая линия для азотной продувки.

Вакуумная система:
— химическая серия, составной турбомолекулярный насос 200 л/сек;
— химическая серия, двух ступенчатый резервный роторный насос 250 л/мин, с азотным балластом и линиями выхлопного очищения;
— автоматический контроль давления замкнутого цикла при помощи моторизированного шибера.

Таймер процессов:
— цифровой (разрешение до 0,1 секунд).

Звуковой сигнал:
— оповещает оператора об окончании процесса.