|
Система RIE-1C компании SAMCO является идеальным решением для лабораторий, которым требуется двумерное ионное травление и малое настольное пространство. Эта система обладает высокой производительностью и спроектирована для оптимизации, скорости, nоднородности и селективности травления, и специально предназначена для удаления пассивирующих материалов при проведении анализа повреждений. |
Система RIE-1C также может быть использована для травления пленок на основе кремния, тугоплавких металлов, металлических силицидов и spin-on glass (SOG) материалов. Как только набор команд задан, полная обработка подложки или устройства запускаются нажатием одной кнопки, включая откачку системы, напуск потока газа, ВЧ мощность и вентиляцию камеры . Дополнительно, в установке предусмотрена блокировка дверцы и выключатель возврата в исходное положение для обеспечения безопасности оператора и системы. |
Технические характеристики RIE – 1C
Реактор:
— материал — кварц, диаметр 210мм, высота 62мм.
Габаритные размеры (ШхДхВ): 400 × 440 × 325.
Обязательные требования для
nоборудования:
— 220В АС 50 Гц, 3 KVA;
— Охлаждающая вода: 2-3 кг/см2, 1-2 л/мин;
— Газовые процессы: 1 кг/см2;
— Азот: 1кг/см2, 10 л/мин;
— Вентиляция: Выхлопной патрубок для роторного насоса NW25.
Измерение давления:
— вакуумметр Pirani 10-3 до 10 Торр.
Система безопасности:
— блокировка двери не позволяет стартовать системе в открытом состоянии реактора;
— тумблер перезагрузки для срочной остановки системы, откачки газов и вентиляции камер.
Рабочий процесс:
— контроллер последовательности для автоматического управления вакуумной системой, вентилем и ВЧ-мощностью.
Опции
— стальной шкаф для хранения системы, ВЧ генератора и вакуумного насоса;
— емкостной вакуумметр;
— расходомер с цифровым дисплеем;
— цепь для измерения DC смещения.
Электрод с параллельными пластинами:
— верхний
r
электрод: материал — алюминий, диаметр 140мм, shower head;
— нижний электрод: материал — алюминии, диаметр 120мм, водяное охлаждение.
Высокочастотная мощность:
— 13,56 МГц, 0-200 В твердотельный генератор;
— цифровой экран с обозначением мощности в прямом направлении и мощность отраженной волны.
Газовые вводы:
— два ротаметра для CF4 и кислорода 5-50 SCCM (Возможна другая калибровка газа);
— одна газовая линия для азотной продувки.
Вакуумная система:
— химическая серия, составной турбомолекулярный насос 200 л/сек;
— химическая серия, двух ступенчатый резервный роторный насос 250 л/мин, с азотным балластом и линиями выхлопного очищения;
— автоматический контроль давления замкнутого цикла при помощи моторизированного шибера.
Таймер процессов:
— цифровой (разрешение до 0,1 секунд).
Звуковой сигнал:
— оповещает
оператора
об окончании процесса.
группа компаний
КРИОСИСТЕМЫ
© 2002-2020
ГК «КРИОСИСТЕМЫ»
Все права защищены
Оборудование
- вакуумное
- криогенное
- вакуумно-термическое
О компании
- дипломы и сертификаты
- вакансии
Наши проекты
- имитаторы космического пространства
- работы на промышленных установках различных ведомств
- исследовательские установки для высокотехнологичных применений
- криогенные установки и исследовательские низкотемпературные криостаты
Услуги
- сертифицированный ремонт и обслуживание
- ввод оборудования в эксплуатацию
- разработка и изготовление вакуумного оборудования
Контакты
111250, Россия, Москва
БЦ "Интеграл", проезд Завода Серп и Молот,
д.10, офис 404 (4-й этаж)
+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67