Установки для Реактивно-ионного травления (RIE) являются простейшей версией оборудования для сухого травления. Кратко такие установки представляют собой два параллельных электрода внутри рабочей камеры, на одном из которых (катоде) находится подложка; на катод подается RF смещение, второй электрод заземлен. RF-смещение используется в таких установках для генерации плазмы и для ускорения ионов к катоду, поэтому независимый контроль этих двух процессов невозможен. RIE процесс имеет хорошую анизотропию, но относительно невысокую скорость травления, поэтому для ускорения процесса в камеру дополнительно вводят реактивные газы.
Для RIE процессов компания SAMCO предлагает простые настольные установки типа RIE-1C, рабочие лошадки как RIE-10NR или RIE-200L (версия с камерой загрузки) так и производительные установки работающие с кассеты на кассету, например RIE-2000SQ
группа компаний
КРИОСИСТЕМЫ
© 2002-2020
ГК «КРИОСИСТЕМЫ»
Все права защищены
Оборудование
- вакуумное
- криогенное
- вакуумно-термическое
О компании
- дипломы и сертификаты
- вакансии
Наши проекты
- имитаторы космического пространства
- работы на промышленных установках различных ведомств
- исследовательские установки для высокотехнологичных применений
- криогенные установки и исследовательские низкотемпературные криостаты
Услуги
- сертифицированный ремонт и обслуживание
- ввод оборудования в эксплуатацию
- разработка и изготовление вакуумного оборудования
Контакты
115088, Россия, Москва
"IQ-park", ул. Угрешская,
д.2, стр.22
+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67