Установки реактивно-ионного травления

Установки для Реактивно-ионного травления (RIE) являются простейшей версией оборудования для сухого травления. Кратко такие установки представляют собой два параллельных электрода внутри рабочей камеры, на одном из которых (катоде) находится подложка; на катод подается RF смещение, второй электрод заземлен. RF-смещение используется в таких установках для генерации плазмы и для ускорения ионов к катоду, поэтому независимый контроль этих двух процессов невозможен. RIE процесс имеет хорошую анизотропию, но относительно невысокую скорость травления, поэтому для ускорения процесса в камеру дополнительно вводят реактивные газы.

Для RIE процессов компания SAMCO предлагает простые настольные установки типа RIE-1C, рабочие лошадки как RIE-10NR или RIE-200L (версия с камерой загрузки) так и производительные установки работающие с кассеты на кассету, например RIE-2000SQ