![]() http://www.SemiTEq.ru |
Установки плазмохимических процессов травления и осаждения серии STE RIE и ICP Установки предназначены для травления и осаждения диэлектриков с использованием комбинированного индуктивно-связанного и емкостного разряда.
|
||
Установка STE RIE84 | |||
![]() |
STE RIE84 является упрощённым вариантом установки для травления полупроводниковых, диэлектрических или металлических слоев в плазме емкостного разряда. Установка предназначена, прежде всего, для проведения эффективных лабораторных исследований и разработок. | ||
Установка STE ICPe68/68L | |||
![]() | Установки представляют собой автоматизированные станции для проведения процессов плазмохимического травления в комбинированной плазме емкостного и индуктивного разряда. Установки предназначены как для интенсивных исследований и разработок, так и для мелкосерийного выпуска продукции в составе пилотной производственно-технологической линии. В STE ICPe68 полностью реализованы все современные особенности процессов контролируемого плазмохимического травления полупроводниковых и диэлектрических слоев. | ||
Установка STE ICPd81/81L | |||
![]() |
Установки представляют собой автоматизированные станции для проведения процессов плазмохимического осаждения диэлектриков (SiNx, SiO2 и т.п.) в плазме индуктивного разряда. Предусмотрена возможность встраивания в технологический кластер. |
группа компаний
КРИОСИСТЕМЫ
© 2002-2020
ГК «КРИОСИСТЕМЫ»
Все права защищены
Оборудование
- вакуумное
- криогенное
- вакуумно-термическое
О компании
- дипломы и сертификаты
- вакансии
Наши проекты
- имитаторы космического пространства
- работы на промышленных установках различных ведомств
- исследовательские установки для высокотехнологичных применений
- криогенные установки и исследовательские низкотемпературные криостаты
Услуги
- сертифицированный ремонт и обслуживание
- ввод оборудования в эксплуатацию
- разработка и изготовление вакуумного оборудования
Контакты
115088, Россия, Москва
"IQ-park", ул. Угрешская,
д.2, стр.22
+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67