Главная › Оборудование › Вакуумное оборудование (техника) › Вакуумные системы и установки › Установки осаждения › Установки пульсационно-лазерного осаждения (PLD)

Установки пульсационно-лазерного осаждения (PLD)

Модуль пульсационно-лазерного осаждения компании SVTA (США) способен работать с шестью мишенями для испарения тонкопленочных материалов. Мишени располагаются в системе на карусели и могут индексированно подаваться в вакуум. Стопор фиксирует карусель каждые 60^о для того, чтобы обеспечить необходимое выравнивание мишеней. Сверхвысоковакуумный дизайн модуля PLD достигается за счет металлических уплотнений и вводов, уплотненных сильфонами.

Свойства:

Работа с металлами, оксидами, многоэлементными соединениями

6 вращаемых мишеней

Лазер большой мощности

Гибкость в комбинировании вакуумных средств

Универсальная конфигурация модулей

Дополнительная загрузочная камера как опция

Обучение и полное сервисное обслуживание

Автоматизация RoboMBE ТМ процесса.

SMART NanoTool PLD

Установка пульсационно-лазерного осаждения исследовательского типа

Обзорная брошюра в формате .pdf (на русском языке).

Применения

• Многокомпонентные оксиды
• Высокотемпературные сверхпроводники
• Испарение магнитных и металлических материалов
• Испарение материалов с низким давлением паров
• МЕМС

Описание

Установка пульсационно-лазерного осаждения компании SVTA типа SMART (Scientific Materials Applied Research Tool) является уникальной установкой исследовательского типа. Комбинация лазерной абляции с другими нашими техниками испарения материалов позволяет работать с широким спектром материалов для большинства применений. Возможно получение множественных тонкопленочных структур при использовании шести вращаемых мишений, котроые можно индексировать. Опциональные инструменты мониторинга дают пользователю возможность получения обратной связи от применяемого процесса. Загрузочная камера для перемещения подложек позволяет установке SMART служить средством связи с другими инструментами осаждения или метрологии.

Дополнительные особенности

• Пакет для осаждения при использовании кислорода под высоким давлением
• Апгрейд для использования при высоком вакууме (UHV)
• Оптика сканирования лазерного луча по мишени
• Интегрированный лазер (Эксимерный или Nd:YAG)
• Загрузочная камера
• Дополнительные источники осаждения (магнетрон и др.)
• RHEED – пушка (Дифракция быстрых электронов на отражение) и RHEED – анализ
• Интегрированные модули анализа поверхности
• Мониторы наблюдения скорости роста пленок
• Ввод реактивных газов в рабочую камеру

Технические характеристики модели SMART NanoTool PLD-01

Камера и Вакуумные насосы	Дверь диаметром 305 мм, Турбомолекулярный насос 250 л/с
Мишени	Шесть мишеней диаметром 25,4 мм с вращением и возможностью z?перемещения
Подложка	Подложка диаметром 25,4 мм с вращением. Нагрев до 800° С и возможность z?перемещения
	Кварцевый монитор
Вакуумные датчики	Полный набор датчиков на весь диапазон давлений
Автоматизация	Базовый пакет автоматизации: (Считывание давления, авто?откачка и вентиляция, нагрев и вращение, блокировка лазера,? считывание показаний кварцевого монитора

Опции:

Источники испарения	Резистивные источники испарения, Эффузионные ячейки, Магнетроны, Электронно?лучевое испарение
Подложка	Множественные опции использования подложек до 75 мм диаметром
Инструменты метрологии	RHEED?пакет
Вакуумный пакет	Ионные насосы, турбонасосы, вакуумные затворы
Вакуумные датчики	Доступна любая комплектация
Контроль газов	Любые регуляторы расхода и клапаны натекания
Дополнительные камеры	Загрузочная камера, Доковая камера, Транспортная камера
Автоматизация	Пакет расширенного управления установкой

PLD_
drawing

Установки пульсационно-лазерного осаждения (PLD)

Отправить запрос