Главная › Оборудование › Вакуумное оборудование (техника) › Вакуумные системы и установки › Установки осаждения › Установки электронно-лучевого напыления от ЗАО “НТО”

Установки электронно-лучевого напыления от ЗАО “НТО”

http://www.SemiTEq.ru

Установки электронно-лучевого напыления STE EB

Установки электронно-лучевого напыления предназначены для нанесения многослойных тонкопленочных покрытий в контролируемом высоком и сверхвысоком вакууме.

Обзорная брошюра в формате pdf (eng)

Установка STE EB48

Установка является специально разработанной системой электронно-лучевого напыления упрощённой конфигурации для проведения стартовых исследовательских работ по выбору и оптимизации многослойных тонкоплёночных покрытий, наносимых на полупроводниковые пластины методом электронно-лучевого испарения в высоком или сверхвысоком вакууме.

Установка STE EB71

Установка представляет собой полностью автоматизированную станцию электронно-лучевого напыления высококачественных тонкоплёночных композиций в сверхвысоком вакууме. Установка разрабатывалась в идеологии “lab to fab” и ориентирована как на интенсивные исследования и разработки, так и на мелкосерийный выпуск продукции в составе пилотной производственно-технологической линии. В конструкцию установки заложена возможность комплексирования и встраивания в состав роботизованных вакуумно-технологических кластерных систем.

Установка STE EB65G

Установка STE EB65G — производственная автоматизированная система электронно-лучевого напыления в высоком вакууме, обеспечивающая нанесение высококачественных многослойных тонкоплёночных покрытий одновременно на групповую партию пластин.

Установки электронно-лучевого напыления от ЗАО “НТО”

Отправить запрос