![]() |
Установки осаждения от компании CHA Industries |
![]() |
Обзорная брошюра по теме “Производственные установки “. |
В этом разделе представлены установки компании СНА Industries (США). Эта компания, основанная в 1954, специализируется на дизайне и производстве полной линейки высоковакуумных систем осаждения, а также оборудования и установок для точного нанесения тонко-пленочных покрытий.СНА первой изобрела и начала выпускать планетарный механизм вращения подложек, а сегодня предлагает варианты установок с планетарным, «lift-off” и «flip” механизмами.
Установки MARK 40 и MARK 50 сегодня являются «де-факто» стандартом в полупроводниковой промышленности. Они обеспечивают однородность нанесения пленки /-3% и лучше и воспроизводимость от подложки к подложке /- 3% и лучше. Обе установки выпускаются в различных модификациях: от полностью автоматизированного, компьютерного управления до ручного, что позволяет их использовать, как для массового производства, так и для научных разработок и исследований. MARK 50 имеет на 50% большую производительность, чем MARK 40.
Установка осаждения MARK 50:
![]() |
Среди особенностей экономичной системы MARK 50 можно выделить высокую скорость загрузки и разгрузки, широкий диапазон эксплуатационной гибкости и поддержку подложек из множества различных материалов и разных размеров. Эффективность дизайна, легкость в управлении и несравнимая надежность делают эту систему прекрасным выбором для широкого ряда производственных применений. |
Установки осаждения от компании Kurt J. Lesker
Компания Kurt J. Lesker создала первую напылительную установку 20 лет назад в головном офисе в городе Питсбург. С тех пор, подразделения технологического оборудования расположенные в США и Великобритании выпустили сотни установок, используя инженерные, производственные и площади чистых комнат для создания установок PVD и CVD согласно требованиям заказчика.
Сегодня компания предлагает три различных варианта системных платформ атомно-слоевого осаждения под управлением ЭВМ для научных исследований и опытно-конструкторских разработок. От компактных автономных установок до встраиваемых установок с несколькими технологиями напыления. Каждая из систем может включать в себя: магнетронное напыление (высокочастотное, постоянного тока и импульсное), расположение источников может быть как линейным, так и круговым, ионный источник для очистки подложек и вспомогательного напыления, электронно-лучевое напыление, тепловое испарение для металлов и органических соединений, а также пульсационная лазерная абляция.
Установки PVD 75™, PVD 225 и PVD 250
![]() |
![]() |
Спроектированы для производственных и учебных научно-исследовательских применений.
Скачать интерактивную 3D модель установки PVD-75
Модель можно вращать, масштабировать, выделять компоненты для подробной информации, делать отдельные части прозрачными для просмотра невидимых частей и многое другое при помощи бесплатного плагина IPA Webview.
Скачать интерактивную 3D модель установки PVD-250
Модель можно вращать, масштабировать, выделять компоненты для подробной информации, делать отдельные части прозрачными для просмотра невидимых частей и многое другое при помощи бесплатного плагина IPA Webview.
Требуется MS Internet Explorer версии 5.5 или выше и плагин IPA Webview
группа компаний
КРИОСИСТЕМЫ
© 2002-2020
ГК «КРИОСИСТЕМЫ»
Все права защищены
Оборудование
- вакуумное
- криогенное
- вакуумно-термическое
О компании
- дипломы и сертификаты
- вакансии
Наши проекты
- имитаторы космического пространства
- работы на промышленных установках различных ведомств
- исследовательские установки для высокотехнологичных применений
- криогенные установки и исследовательские низкотемпературные криостаты
Услуги
- сертифицированный ремонт и обслуживание
- ввод оборудования в эксплуатацию
- разработка и изготовление вакуумного оборудования
Контакты
115088, Россия, Москва
"IQ-park", ул. Угрешская,
д.2, стр.22
+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67