Главная › Оборудование › Вакуумное оборудование (техника) › Вакуумные системы и установки › Установки молекулярно-пучковой эпитаксии › Установки для металло-органических соединений

Установки для металло-органических соединений

Установка MOMBE от компании SVTA специально спроектирована для обеспечения высококачественного выращивания материалов на основе газообразных металло-органических соединений. Базовая установка состоит из трех модулей: модуля эпитаксиального роста и модуля, содержащего загрузочную камеру, буферное устройство и камеру предварительной обработки, а также модуля управления газами. Современный модуль управления газами обеспечивает прецизионную подачу газов высокой чистоты в систему. Запатентованный алгоритм управления давлением используется для минимизации газовых переходов во время процесса выращивания. Коллектор газовых линий, выхлопная газовая линия, продувочные и очищающие линии удобно расположены в безопасном газовом шкафу. По умолчанию система поставляется в линейной конфигурации или под прямым углом.