Оксидная система МЛЭ компании SVTA специально разработана для выращивания высококачественной сверхпроводящей пленки и материалов на основе оксидов металлов. Камера выращивания спроектирована для работы с высоко-активным кислородным содержимым и оснащается кислородостойким нагревателем подложек. Реактивные формы кислорода генерируются либо высокочастотной плазмой, либо источником подачи озона. Базовая система состоит из двух модулей: модуля эпитаксиального роста и модуля, содержащего загрузочную камеру/буферное устройство/камеру предварительной обработки. По умолчанию система поставляется в линейной конфигурации или же под прямым углом. |
![]() |
![]() |
Обзорная брошюра на английском языке. |
группа компаний
КРИОСИСТЕМЫ
© 2002-2020
ГК «КРИОСИСТЕМЫ»
Все права защищены
Оборудование
- вакуумное
- криогенное
- вакуумно-термическое
О компании
- дипломы и сертификаты
- вакансии
Наши проекты
- имитаторы космического пространства
- работы на промышленных установках различных ведомств
- исследовательские установки для высокотехнологичных применений
- криогенные установки и исследовательские низкотемпературные криостаты
Услуги
- сертифицированный ремонт и обслуживание
- ввод оборудования в эксплуатацию
- разработка и изготовление вакуумного оборудования
Контакты
115088, Россия, Москва
"IQ-park", ул. Угрешская,
д.2, стр.22
+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67