Главная › Оборудование › Вакуумное оборудование (техника) › Вакуумные системы и установки › Установки молекулярно-пучковой эпитаксии › Оксидные установки

Оксидные установки

Оксидная система МЛЭ компании SVTA специально разработана для выращивания высококачественной сверхпроводящей пленки и материалов на основе оксидов металлов. Камера выращивания спроектирована для работы с высоко-активным кислородным содержимым и оснащается кислородостойким нагревателем подложек. Реактивные формы кислорода генерируются либо высокочастотной плазмой, либо источником подачи озона. Базовая система состоит из двух модулей: модуля эпитаксиального роста и модуля, содержащего загрузочную камеру/буферное устройство/камеру предварительной обработки. По умолчанию система поставляется в линейной конфигурации или же под прямым углом.