На протяжении более 10 лет SVTA признается лидером в производстве нитридных материалов III группы. Нитридная система MЛЭ специально сконструирована SVTA для выращивания высококачественных GaN, AlN и других похожих нитридных материалов. Модуль выращивания спроектирован для работы с высоко-активным азотным содержимым и оснащен высокотемпературным нагревателем подложек для унифицированного выращивания. Молекулы азота генерируются либо высокочастотной плазмой, либо источником аммиака. Базовая система состоит из двух модулей: модуля эпитаксиального роста и модуля, содержащего загрузочную камеру/буферное устройство/камеру предварительной обработки. По умолчанию система поставляется в линейной конфигурации или же под прямым углом. |
![]() |
группа компаний
КРИОСИСТЕМЫ
© 2002-2020
ГК «КРИОСИСТЕМЫ»
Все права защищены
Оборудование
- вакуумное
- криогенное
- вакуумно-термическое
О компании
- дипломы и сертификаты
- вакансии
Наши проекты
- имитаторы космического пространства
- работы на промышленных установках различных ведомств
- исследовательские установки для высокотехнологичных применений
- криогенные установки и исследовательские низкотемпературные криостаты
Услуги
- сертифицированный ремонт и обслуживание
- ввод оборудования в эксплуатацию
- разработка и изготовление вакуумного оборудования
Контакты
115088, Россия, Москва
"IQ-park", ул. Угрешская,
д.2, стр.22
+7 (495) 663-30-39
+7 (495) 663-30-67