Главная › Оборудование › Вакуумное оборудование (техника) › Вакуумные системы и установки › Установки молекулярно-пучковой эпитаксии › Азотные установки

Азотные установки

На протяжении более 10 лет SVTA признается лидером в производстве нитридных материалов III группы. Нитридная система MЛЭ специально сконструирована SVTA для выращивания высококачественных GaN, AlN и других похожих нитридных материалов. Модуль выращивания спроектирован для работы с высоко-активным азотным содержимым и оснащен высокотемпературным нагревателем подложек для унифицированного выращивания. Молекулы азота генерируются либо высокочастотной плазмой, либо источником аммиака. Базовая система состоит из двух модулей: модуля эпитаксиального роста и модуля, содержащего загрузочную камеру/буферное устройство/камеру предварительной обработки. По умолчанию система поставляется в линейной конфигурации или же под прямым углом.