Насосы серии SDE для коррозионных газов

Насосы серии SDE производительностью от 1300 до 30000 л/мин используются в тех приложениях, где необходима откачка коррозионных газов. Насосы этой серии основаны на комбинации вертикального винтового и многоступенчатого насоса Рутса. Винтовой компрессор имеет два винтовых ротора. Один ротор имеет правую резьбу, а другой — левую. Оба ротора вращаются внутри корпуса без трения с минимальным прецизионным зазором, не требующим смазки. Вертикальный дизайн насосов Kashiyama обеспечивает лучшее вакуумное уплотнение. Для обеспечения надежной откачки коррозионных газов ротор и корпус насоса выполнены из сплава никеля. Насосы серии SDE прошли успешное испытание в «тяжелых» условиях процесса химического осаждения паров нитрида титана (CVD, Ti Nitride) на установке «Centura» производства компании Applied Materials (США). Срок работы насосов других известных производителей ограничивался 1-2 месяцами. В результате, они были заменены насосами серии SDE, которые работают в этой установке непрерывно уже 9000 часов по настоящее время. Основные преимущества насосов этой серии : — надежность в реальных условиях эксплуатации; — полное отсутствие загрязнений откачиваемого объема; — коррозионная стойкость — модели с пониженной внутренней температурой до 150С для W-СVD и др. процессов, чтобы избежать прилипания остаточных продуктов nпроцесса на рабочих поверхностях; — двигатель постоянного тока, вследствие чего производительность насоса не зависит от изменения частоты питающего напряжения.

Характеристика	Коррозионно-стойкие насосы серии SDE
	SDE90X*	SDE603X*	SDE1203X*	SDE2003
Быстрота действия, л/мин	1 300	10 000	20 000	30 000
Предельное давление, Па (мТорр)	1,3 (10)	0,5 (4)	0,5 (4)	0,5 (4)
Входной r фланец	NW40	NW80	NW100	NW160
Выпускной фланец	NW40	NW40	NW40	NW40
Мощность блока питания, кВА	6,5	10,5	13,0	16,6
Потребляемая мощность, кВт	1,3	1,5	2,0	4,0
Минимальный расход охлаждающей воды (5 – 25 С)	3,0	3,0	3,0	6,0
Расход азота, ст. л/мин	0-60
Разъем для охлаждающей воды	3/8″ быстроразъемная муфта
Соединение для азота	1/4″ резьбовое
Габаритные размеры ДхШхВ, мм	690*370*551	760*400*906	900*400*906	1000*500*1090
Масса, кг	150	260	310	495

* Литера “X” в номере модели насоса означает, что данный насос является энергосберегающим. Ниже показаны кривые откачки насосов серии SDE Cухой насос серии SDE