+7 (495) 663-30-39

+7 (495) 663-30-67

Работы на промышленных установках различных ведомств

Ионный имплантер на средних токах и энергии до 200 кэВ

Заказчику для завершения создания полного цикла создания изделий электронной техники требовался ионный имплантер. Заказчику был предложен и поставлен Ионный имплантер модели IMC-200 от нашего партнера французской компании IBS.

Имплантер модели IMC-200, разработанный компанией «Ion Beam Services», предназначен для решения производственных задач и для проведения исследований при имплантации стандартных и/или редко применяемых примесей.

Установка для лабораторий ВУЗов

Установлены 2 источника термического испарения, магнетрон с мишенью 50 мм, LTE источник для работы с органическими соединениями, установка автоматизирована, все действия оператора идут через человекомашинный интерфейс.

Установка для лабораторий ВУЗов

В лаборатории заказчика система устанавливалась под ключ с монтажом чиллера, установки системы подачи рабочих газов.

prjcts_prom_1_2 prjcts_prom_1_3
Подготовка к отработке источников. Виден магнетрон, LTE источник термические источники, их экраны и заслонки демонтированы Отработка технологии для заказчика и проверка установки в сервис центре Компании , тестирование магнетрона

«Вторая молодость» установок УВН 73

prjcts_prom_2_1 Замена диффузионного насоса и вакуумметрии. Установлены: криогенный насос, контроллер для высоковакуумного и двух низковакуумных датчиков, датчики на камере установки и криогенном насосе, модуль для контроля форвакуумного насоса. Форвакуумный спиральный насос, клапаны с пневмоприводом взамен штатных клапанов установки, пневмораспределители адаптированы и включены в существующие пневмо и электросети установки.
prjcts_prom_2_2

Замена диффузионного насоса и вакуумметрии Установлены: ТМН с интегрированным контроллером, контроллер для двух низковакуумных и одного высоковакуумного датчика, датчики на камере установки и ТМН, модуль для контроля работы форвакуумного насоса , форвакуумный спиральный насос, клапаны с пневмоприводом взамен штатных клапанов установки, пневмораспределители адаптированы и включены в существующие пневмо и электросети установки.

prjcts_prom_2_3

В обоих примерах работ разбиралась и очищалась штатная ловушка установки, проводились ремонтные и регулировочные работы на затворе, очистка внутренних поверхностей и контроль герметичности всей установки.

Запуск в эксплуатацию установки магнетронного осаждения резистивных покрытий

Запущена в эксплуатацию установка магнетронного осаждения резистивных покрытий на образцы из поликора (48х60 мм). Установка изготовлена израильской компанией VST, имеет в составе два магнетрона диаметром мишени 100 мм и вращающийся подложкодержатель на 16 позиций образцов. Откачка полностью сухая и состоит из турбомолекулярного насоса Shimadzu на магнитной подвеске и спирального насоса компании Anest Iwata.

Установка у заказчика На сборке установки в Израиле    

Пример по однородности осажденных пленок NiCr:

Run_4 T (min) Power (W) P (mTorr)   Gas flow RPM
  15 xxxx xxx   xxx 30
Res 192,5 190,2 190,3 193,2
   
Rmax 193,2   Uniform:±0,83%
Rmin 190    
graph2

Серия испытательных камер объемами от 100 до 500л для одного из предприятий Роскосмос

prjcts_himma_1

Нашей компанией были разработаны, изготовлены и запущены в эксплуатацию на территории заказчика установки для испытаний на герметичность различных изделий. Следующие типы установок вошли в эту серию:

prjcts_himma_2

Испытательная установка с вакуумной камерой объемом 500л. Данная камера разработана согласно ТЗ заказчика, система откачки включает в себя два форвакуумных насоса Anest Iwata производительностями 250 и 500 л/мин, турбомолекулярный насос Shimadzu TMP-403. Для ускорения скачивания гелия в случае негерметичности испытываемого изделия предусмотрено подключение дополнительного турбомолекулярного насоса малой производительности (последывательное включение с TMP-403, увеличивающее степень сжатия). Для защиты системы откачки при испытании изделий не прошедших очистки и обезгаживания в системе откачки предусмотрена азотная заливная ловушка. Компоновка системы позволяет с минимальными трудозатратами проводить частичную разборку системы для очистки ловушки от загрязнений. На вакуумной камере установлена предохранительная разрывная мембрана, предназначенная для аварийного сброса избыточного давления в случае разрушения испытываемого изделия.

prjcts_himma_3

 

Испытательная установка с вакуумной камерой объемом 200л. Данная установка сходна с предыдущей установкой, отличается меньшим объемом камеры и соответственно меньшей производительностью системы откачки, также в данной установке не предусмотрено дополнительного ТМН малой производительности.

 

 

prjcts_himma_4Испытательная установка с вакуумной камерой объемом 100л. Для данной установки использовалась имевшаяся у заказчика вакуумная камера. Система откачки аналогична установке с вакуумной камерой 200л, за исключением отсутствия азотной заливной ловушки.

 

Каждая установка включает в себя гелиевый течеискатель Shimadzu MSE-2000, для проверки герметичности испытываемых изделий. Управление данными установками полностью автоматизировано.

prjcts_himma_5

Управление осуществляется с установленного на стойке управления сенсорного монитора, предусмотрен как автоматический режим откачки (нажатием одной кнопки), так и ручной режим, где доступно управление всеми элементами вакуумной системы. В ручном режиме предусмотрены блокировки, не позволяющие произвести ошибочные действия, которые могут повредить оборудование. Проводится мониторинг вакуума не только в вакуумной камере, но и в ключевых точках системы откачки, что позволяет эффективно управлять откачкой и заблаговременно обнаруживать возможные неисправности.

prjcts_himma_6Все средства откачки имеют воздушное охлаждение, что позволило избежать проблем с подводом дополнительных коммуникаций (охлаждающей воды) или размещения дополнительного оборудования (чиллера) в помещениях заказчика.

 

Сборка и отладка данных установок проводилась в сервис-центре нашей компании. Установки поставлялись заказчику в максимально собранном виде (минимальная разборка для обеспечения удобства и безопасности перевозки) и хранились на складе заказчика до готовности помещений. После готовности заказчика к пусконаладке, сборка и приемоздаточные испытания проводились в минимальные сроки.



группа компаний

КРИОСИСТЕМЫ

 

 

© 2002-2017

ГК «КРИОСИСТЕМЫ»

Все права защищены

КОНТАКТЫ

115088, Россия, Москва

"IQ-park", ул. Угрешская,

д.2, стр.22

 

+7 (495) 663-30-39

+7 (495) 663-30-67

Товар добавлен в запрос!
Список отобранного вы можете найти и отредактировать за кнопкой "Отправить запрос".