+7 (495) 663-30-39

+7 (495) 663-30-67

Безмасляная система откачки высоковакуумной технологической камеры объемом 40 м3 с повышенным газовыделением

Система вакуумной откачки, разработанная и смонтированная сотрудниками ГК Криосистемы, обеспечивает выход установки полезным объемом 40 м3 с атмосферного на рабочее давление (1х10-4 Торр) менее чем за 20 минут.

Форвакуумная система откачки камеры выполнена на базе безмасляных винтовых насосов:

Высоковакуумная система откачки камеры выполнена на базе турбомолекулярных насосов и криогенного насоса с суммарной производительностью, обеспечивающей требуемое время откачки объема вакуумной камеры в соответствии с заданием Заказчика.

Вакуумная система обеспечивает откачку воздуха и поддержание рабочего давления в камере в во время технологического процесса. Все вакуумпроводы выполнены из нержавеющей стали.

В проекте использована вакуумная коммутационные арматура и производства компании Highlight Tech Corp (HTC):



группа компаний

КРИОСИСТЕМЫ

 

 

© 2002-2020

ГК «КРИОСИСТЕМЫ»

Все права защищены

КОНТАКТЫ

115088, Россия, Москва

"IQ-park", ул. Угрешская,

д.2, стр.22

 

+7 (495) 663-30-39

+7 (495) 663-30-67

info@cryosystems.ru

Товар добавлен в запрос!
Список отобранного вы можете найти и отредактировать за кнопкой "Отправить запрос".