+7 (495) 663-30-39

+7 (495) 663-30-67

Высокочастотные генераторы Adtec

Представляем продукцию компании Adtec — лидера мирового рынка в разработке и производстве инновационных высокочастотных источников питания для полупроводниковых производств, производств плоских дисплеев и промышленного нагрева. Продукция компании включает ВЧ генераторы и автоматические согласующие полное сопротивление устройства.

Компания Adtec производит твердотельные высокочастотные линейные источники питания мощностью от 200 Вт до 30 кВт на различные частоты, дающие превосходный контроль мощности, высокую надежность и меньший паразитный шум.

Тщательный подбор компонентов, в сочетании с проработанной конструкцией усилителя, позволяет уменьшить нагрузку на усилитель и увеличить среднюю наработку на отказ. Стабильность усилителя также предоставляет широкие возможности создания маломощных ВЧ импульсов малой длительности для применения в процессах травления и превосходное управление, даже при выходной мощности 1 Вт.

 

Таблица стандартных моделей генераторов Adtec

vch_gen_adtec_1

 

Высокочастотный генератор TX-10 1 кВт 13,56 МГц


vch_gen_adtec_2Преимущества:

 

Технические характеристики:

 МодельTX-10
Выходная мощность0 ~ 1000 Вт (импеданс 50 Ом)
Выходной регулируемый диапазон0 ~ 1000 Вт (с шагом 1 Вт)
Отклонение выходной мощностиВ пределах +/-1% или +/-2Вт (что больше) от установленной мощности (отображаемой на дисплее) (при номинальной мощности, 25 °C, импедансе 50 Ом)
Выходная частота13,56 МГц
Стабильность частоты+/- 0,01% (10 ~ 40°C) кварцевый генератор
Выходной импеданс50 Ом ± 2 Ом
Выходное гармоническое искажениедо -45 дБ (при номинальной мощности, 25 °C, импедансе 50 Ом)
Интерфейсы управленияАналоговый, 24-контактный разъем типа «папа»
RS-232C, 9-контактный разъем D-Sub типа «мама»
Выходной разъемN-тип
ОхлаждениеПринудительное воздушное (Воздушный поток вентилятора = 3м3/мин)
Электропитание~200..240В, 50..60 Гц
Ток утечкименее 5мА/~200 В
Размеры215 x 498 x 145 мм
Вес13 кг

Дополнительные опции:

 

ВЧ согласующие устройства Adtec

vch_gen_adtec_3

Компания Adtec специализируется на создании согласующих устройств. Согласующее устройство может разрабатываться по ТЗ заказчика, для увеличения скорости и точности согласования. Датчик согласования может быть установлен на согласование от 1 Вт, в зависимости от потребностей заказчика.
Компания Adtec может произвести измерение импеданса существующих систем у заказчика и построить согласующее устройство соответственно с результатом этого измерения.
Диапазон мощностей согласующих устройств Adtec совпадает с диапазоном мощностей генераторов Adtec; варьируется от 300 Вт до 30000 Вт.

В зависимости от спецификации заказчика также могут быть добавлены:

Интерфейсы управления:

Параметры подстройки сохраняются в согласующем устройстве. С помощью программного обеспечения AMV Control эти параметры могут быть изменены для изменения скорости подстройки, начальной точки (через предустановки), диапазона согласования и многого другого. Для отладки имеется возможность переключения прибора между ручным и автоматическим режимом. ПО AMV Control может использоваться для отслеживания емкостей конденсаторов переменной емкости, проходящей и отраженной мощностей, Vpp и Vdc (в зависимости от требований заказчика) согласующего устройства.

Ниже представлены характеристики согласующего устройства для ВЧ генератора TX-10 1 кВт 13,56 МГц.

Технические характеристики:

Согласующее устройствоAMVG-1000
Частота13,56 МГц/27,12 МГц
Максимальная мощность в прямом направлении1000 Вт
Входной импеданс50 Ом (при согласовании)
Входной разъем ВЧN-тип, типа «мама» (может быть изменен по требованию заказчика)
Выходной разъемПо ТЗ заказчика
Заземляющий выводШпилька M4
Коэффициент стоячей волны по напряжению (VSWR)Менее 1,2 при согласовании
Диапазон согласованияСогласно ТЗ заказчика
Переменный элементВакуумные конденсаторы переменной емкости
Привод конденсаторов переменной емкости2-фазные шаговые электродвигатели
ОхлаждениеПринудительное воздушное
Питание24 В (±10%) постоянного напряжения от источника питания AMVG-PS-XX
РазмерыСогласно ТЗ заказчика
Условия эксплуатации

Температура: 10-40 °C
Влажность: 20-80% (без конденсации)
Высота: ниже 2000 м

Вес9 кг

 

Источник питания для согласующего устройства AMVG-1000

 

Технические характеристики:

МодельAMVG-PS-XX
Входное напряжение~80..265 В, 50-60 Гц
Выходное напряжение24 В постоянного тока
РазмерыСогласно ТЗ заказчика
Вес1,7 кг


группа компаний

КРИОСИСТЕМЫ

 

 

© 2002-2017

ГК «КРИОСИСТЕМЫ»

Все права защищены

КОНТАКТЫ

115088, Россия, Москва

"IQ-park", ул. Угрешская,

д.2, стр.22

 

+7 (495) 663-30-39

+7 (495) 663-30-67

Товар добавлен в запрос!
Список отобранного вы можете найти и отредактировать за кнопкой "Отправить запрос".