+7 (495) 663-30-39

+7 (495) 663-30-67

Установка RIE-200iPС

RIE-200iPC sys

RIE-200iPС

RIE-200iPС

Кассетная установка травления RIE-200iPС SAMCO предназначена для производственных задач. Запатентованный соленоидный катод «Tornado Coil Electrode» является ключевым элементом в создании высокоплотной плазмы. Модель RIE-200iPС  является идеальным выбором для приложений, которые требуют глубокого травления SiO и составных полупроводниковых пленок, таких как InP, GaN, AlGaAs и GaAs.

Области применения:

  • Травление с низким повреждением InP, GaN, GaAs для производства электронных компонентов и светодиодов.
  • Травление сегнетоэлектрических материалов для устройств памяти
  • Высокоскоростное травление для производства микромашин.

Характеристики базовых установок SAMCO RIE:

RIE-200iP

RIE-200iPB

RIE-200iPC

Внешняя камера загрузочная загрузочная загрузочная, кассетная
Материал рабочих поверхностей Нерж.сталь 304 Нерж.сталь 304 Нерж.сталь 304
Диаметр подложки, мм 150 (200) 150 (200) 150 (200)
ВЧ мощность, Вт 1000/300 1000/300 1000/300
Габаритные размеры (Ш/Д/В), мм 1000/1375/1670 1000/1375/1670 1206/2000/2010



группа компаний

КРИОСИСТЕМЫ

 

 

© 2002-2017

ГК «КРИОСИСТЕМЫ»

Все права защищены

КОНТАКТЫ

115088, Россия, Москва

"IQ-park", ул. Угрешская,

д.2, стр.22

 

+7 (495) 663-30-39

+7 (495) 663-30-67

Товар добавлен в запрос!
Список отобранного вы можете найти и отредактировать за кнопкой "Отправить запрос".