+7 (495) 663-30-39

+7 (495) 663-30-67

Установка RIE-200iPB

SAMCO_(RIE-200iPB) system

Установка RIE-200iPB

SAMCO_Etching Process

Процесс травления

RIE-200iPB

Установка травления с индуцируемой плазмой RIE-200iPB  SAMCO использует последние технологии в области индуцируемой плазмы для выполнения глубокого травления кремния, необходимого для изготовления, в частности, микроэлектромеханических систем (MEMS). Запатентованный соленоидный катод «Tornado Coil Electrode» является ключевым элементом в создании высокоплотной плазмы. Модель RIE-200iPB  специально спроектирована для Bosch процессов, чтобы достичь наилучшего выполнения высокоскоростного, глубокого, вертикального травления кремния.

Запатентованный соленоидный катод (Tornado Coil Electrode) производит стабильную высокоплотную плазму и с высокой точностью глубоко вытравливает кремний с высокой степенью  однородности и избирательности.

Высокая скорость травления улучшает производительность.

Эта установка обеспечивает превосходное травление структур с высокими линейными соотношениями (50-200) за счет изменения циклов поверхностной пассивации слоев осаждения (защита боковых стенок) и протравки кремния.

Управление активной температурой подложки и контролируемый нагрев реактора обеспечивают стабильное воспроизведение процесса

Области применения:

  • Глубокое  травление кремния
  • Изготовление устройств на основе микроэлектромеханических систем (MEMS).
  • Протравка сквозных отверстий для 3D-компоновки

Технические характеристики RIE-200iPB

Рабочая камера.
Материал — алюминий, диаметр 440мм, поверхность с антикоррозионным покрытием, смотровое окно диаметром 37мм.

Электроды.
Нижний электрод:
— материал — нержав. cталь, диаметр 208мм, водяное охлаждение;
— электростатичный «chuck» (крепление) для 6-дюймовых пластин;
— гелиевое охлаждение тыльной стороны.
Электрод индуцируемой плазмы:
— медный соленоидный катод «Tornado Coil Electrode» с воздушным охлаждением;
— 100мм фиксированный зазор между электродами.

Высокочастотная мощность.
Индуцируемо-связанная плазма(ICP):
— 13,56 МГц, 1 кВт, кристаллический осциллятор;
— автоматическое согласование.

Камера загрузки:
— материал — алюминий, габаритные размеры: 440×520×205(Ш*Д*В);
— ручное открытие/закрытие камеры загрузки;
— перемещение пластин при помощи вакуумного робота.

Вакуумная система.
Линия вакуумного процесса:
— химическая серия, составной турбомолекулярный насос 1000 л/мин;
— химическая серия, двух ступенчатый форвакуумный насос 650 л/мин;
— автоматический контроль давления для замкнутого цикла с моторизированным шибером.
Загрузочная камера:
— 2-ух ступенчатый роторный насос 840 л/мин.

Измерение давления и управление:
— рабочая камера: Мембранный вакуумметр (13,3 до 1,33×10-2 Па);
— ионизационный вакуумметр (13,3 до 1,33×10-6 Па);
— камера Landlock: Кристаллический вакуумметр (Атмосфера до 10-2 Па).

Входные газовые линии:
— 4 расходомера (стандартно);
— возможно подключение дополнительных газовых линий (в сумме до 6).

Рабочий процесс
— полностью автоматическое управление, «управление одной кнопкой» или полностью ручное управление;
— система блокировки;
— возможность хранения набора команд (в сумме до 100 команд);
— до 10 последовательных шагов для каждого набора команд.

Обязательные требования для оборудования.
Система питания:
— 380 В АС трех фазная, 75 Ампер;
— газовые процессы: 0,1 МПа;
— азотная продувка: 0,1 МПа 40 л/мин;
— гелий: 0,1 МПа;
— сжатый воздух 0,5-0,7 МПа;
— охлаждающая вода: 0,2 — 0,3 МПа.

Выходной патрубок: NW25×2.

Габаритные размеры:
— основная часть: 1000 × 1375 × 1670;
— насосная часть: 680 × 880 × 540;
— циркуляционный охладитель: 1000 × 1375 × 1670.

Опции:
— запись данных;
— дополнительные газовые линии;
— система оповещения окончания процесса;
— система обработки выхлопного газа;
— система фильтрации масла.

Процесс травления

RIE-200iPB

Установка травления с индуцируемой плазмой RIE-200iPB SAMCO использует последние технологии в области индуцируемой плазмы для выполнения глубокого травления кремния, необходимого для изготовления, в частности, микроэлектромеханических систем (MEMS). Запатентованный соленоидный катод «Tornado Coil Electrode» является ключевым элементом в создании высокоплотной плазмы. Модель RIE-200iPB специально спроектирована для Bosch процессов , чтобы достичь наилучшего выполнения высокоскоростного, глубокого, вертикального травления кремния.

Запатентованный соленоидный катод (Tornado Coil Electrode) производит стабильную высокоплотную плазму и с высокой точностью глубоко вытравливает кремний с высокой степенью однородности и избирательности.
Высокая скорость травления улучшает производительность.

Эта установка обеспечивает превосходное травление структур с высокими линейными соотношениями (50-200) за счет изменения циклов поверхностной пассивации слоев осаждения (защита боковых стенок) и протравки кремния.
Управление активной температурой подложки и контролируемый нагрев реактора обеспечивают стабильное воспроизведение процесса

Области применения:

Глубокое травление кремния

Изготовление устройств на основе микроэлектромеханических систем (MEMS_.

Протравка сквозных отверстий для 3D-компоновки



группа компаний

КРИОСИСТЕМЫ

 

 

© 2002-2017

ГК «КРИОСИСТЕМЫ»

Все права защищены

КОНТАКТЫ

115088, Россия, Москва

"IQ-park", ул. Угрешская,

д.2, стр.22

 

+7 (495) 663-30-39

+7 (495) 663-30-67

Товар добавлен в запрос!
Список отобранного вы можете найти и отредактировать за кнопкой "Отправить запрос".