+7 (495) 663-30-39

+7 (495) 663-30-67

Установка RIE-200L



Установка «сухого» травления RIE-200L обеспечивает превосходные результаты травления структур с минимальной боковой протравкой для широкого спектра материалов, таких как, металлы (алюминий и др.), составных полупроводников (GaAs, GaN, и т.д. ), кремния и поликристаллического кремния. Эта система обладает высокой избирательной способностью  для широкого диапазона материалов масок.  RIE-200L поставляется с удобной для пользователя системой контроля, которая позволяет оператору с легкостью создавать, исправлять, хранить и управлять командами процесса травления

Области применения :

  • Анизотропное травление кремниевых пленок для приборов УБИС
  • Травление металлических пленок
  • Травление GaAs, InP и других составных полупроводниковых пленок
  • Изготовление волноводных устройств
  • Производство микроэлектромеханические систем  (MEMS).
SAMCO_(RIE-200L) system
Рабочая камера

  • Материал – алюминий, диаметр 440мм
  • Поверхность с антикоррозионным покрытием
  • Смотровое окно диаметром 40мм

Камера загрузки:

Нижний электрод

Материал – нержав. сталь диаметр 240мм (поверхность с антикоррозионным покрытием), водяное охлаждение

  • Материал – алюминий 500*535*230 (Ш*Д*В)
  • Одно смотровое окно с диаметром 204мм
  • Крышка камеры открывается и закрывается автоматически
Обязательные требования для оборудования:

Система питания:

  • 380 В АС трех фазный
  • Газовые процессы: 0,1 МПа
  • Азотная продувка: 0,1 МПа 40 л/мин
  • Сжатый воздух 0,5-0,7 МПа Охлаждающая вода: 0,1 — 0,2 МПа

Габаритные размеры (ШхДхВ):

Рабочая камера:

  • 546*1633*1580 (мм)

Насос:

  • 540*540*520(мм)
Перемещение пластин:

  • Образцы перемещаются при помощи руки робота в вакууме на кварцевой пластине с диаметром 250мм
Высокочастотная мощность

  • 13,56 МГц, 300 Вт, кристаллический осциллятор, полностью автоматическое согласование

Вакуумная система

  • Реакторная камера
  • Реакторный насос (200 л/сек) с роторным насосом (250 л/мин)
  • Загрузочная камера
  • Роторный насос (250л/мин)
Электроды

Параллельно расположенные пластины, катодное соединение, фиксированный зазор между электродами

Верхний электрод:

Материал – алюминий, диаметр 240мм (поверхность с антикоррозионным покрытием)

  • 13,56 МГц, 300 Вт, кристаллический осциллятор
  • Полностью автоматическое согласование
Измерение давления:

Реакторная камера

  • Мембранный вакуумметр (2,66*10-2 до 2,66*10-2 Па)
  • Полнофункциональный вакуумметр (13,3 до 1,33*10-6 Па)
  • Загрузочная камера
  • Вакуумметр Pirani (1,3*104 до 1,3*10-1 Па)
  • Атмосферный датчик давления

Входные газовые линии

  • 3 расходомера (по умолчанию)
Опции

  • Дополнительные газовые линии MFC (в сумме до 6 линий)
  • Система оповещения окончания процесса. Система фильтрации масла
  • Форвакуумный насос
Рабочий процесс

  • Полностью автоматическое управление, «управление одной кнопкой» или полностью ручное управление
  • Хранение команд при помощи сенсорного компьютерного экрана (до 10 команд)


группа компаний

КРИОСИСТЕМЫ

 

 

© 2002-2017

ГК «КРИОСИСТЕМЫ»

Все права защищены

КОНТАКТЫ

115088, Россия, Москва

"IQ-park", ул. Угрешская,

д.2, стр.22

 

+7 (495) 663-30-39

+7 (495) 663-30-67

Товар добавлен в запрос!
Список отобранного вы можете найти и отредактировать за кнопкой "Отправить запрос".