+7 (495) 663-30-39

+7 (495) 663-30-67

Установка RIE-10NR

RIE-10NR Установка RIE-10NR компании SAMCO является недорогой, высокоэффективной, полностью автоматической, «сухой» системой травления, которая удовлетворяет жестким требованиям процессов со фторосодержащими материалами  .  Компьютерная сенсорная панель позволяет легко управлять параметрами и контролировать процессы. Травление выполняется с минимальным боковым повреждением и с высокой степенью селективности между материалами. Благодаря компактному дизайну, система RIE -10NR занимает r минимальное количество производственного места.

Области применения:

  • Анизотропное травление всех типов пленок на основе кремния, а также составных полупроводниковых огнеупорных металлов таких как: Si, SiO2, Poly-Si, Si3N4, GaAs and Mo.
  • Производство микроэлектромеханических машин (MEMS).
SAMCO_(RIE-10NR) system

Технические характеристики RIE-10NR

Рабочая камера:
— материал — алюминий с диаметром 340 мм;
— два смотровых окна диаметром 40мм для просмотра обработки плазмы и образцов.

Электроды:
— параллельно расположенные пластины, катодное соединение;
— фиксированный 55мм зазор между электродами.
Нижний электрод:
— материал — алюминий, диаметр 240мм, водяное охлаждение;
— кварцевое покрытие против напыления с 8″ углублением (диаметр 250мм).
Верхний электрод:
— материал — алюминий, диаметр 240мм, shower head.

Высокочастотная мощность:
— 13,56 МГц, 300 В, твердотельный генератор;
— автоматическое согласование сопротивления.

Управление давление:
— широкодиапазонный вакуумметр (5×10-7 до 105 Па) (базовое давление);
— емкостной вакуумметр 2,66×10-2 до 2,66×102 Па (давление процессов);
— атмосферный датчик давления.

Рабочий процесс:
— полностью автоматическое управление, «управление одной кнопкой» или полностью ручное управление;
— возможность хранения набора команд (в сумме до 10 команд);
— заданное значение и параметры высвечиваются в рабочем процессе;
— четырех- шаговые последовательные рецепты процессов.

Обязательные требования для оборудования
Система питания:
— 380 В АС трех фазный;
— газовые процессы: 0,1 МПа;
— азотная продувка: 0,1 МПа 12 л/мин;
— сжатый воздух 0,5-0,7 МПа, фильтрованный;
— охлаждающая вода: 0,3 — 0,5 МПа, 2-3 л/мин.

Выхлопной патрубок:
— для резервного насоса, NW25.

Габаритные размеры (ШхДхВ):
— рабочая камера 546×1633 × 1580 (мм);
— насос 540×540 × 520(мм).

Вакуумная система:
— химическая серия, составной турбомолекулярный насос 200 л/сек;
— химическая серия, двух ступенчатый резервный роторный насос 250 л/мин, с азотным балластом и линиями продувки;
— автоматический контроль давления замкнутого цикла при помощи моторизированного шибера.

Входные газовые линии:
— два расходомера с антикоррозионным покрытием ( возможно подключение до 6 расходомеров).

Опции:
— дополнительные газовые линии MFC (в сумме до 6 линий);
— система оповещения окончания процесса;
— система обработки выхлопного газа;
— форвакуумный насос.



группа компаний

КРИОСИСТЕМЫ

 

 

© 2002-2017

ГК «КРИОСИСТЕМЫ»

Все права защищены

КОНТАКТЫ

115088, Россия, Москва

"IQ-park", ул. Угрешская,

д.2, стр.22

 

+7 (495) 663-30-39

+7 (495) 663-30-67

Товар добавлен в запрос!
Список отобранного вы можете найти и отредактировать за кнопкой "Отправить запрос".