+7 (495) 663-30-39

+7 (495) 663-30-67

Установки реактивно-ионного травления

Установки для Реактивно-ионного травления (RIE) являются простейшей версией оборудования для сухого травления. Кратко такие установки представляют собой два параллельных электрода внутри рабочей камеры, на одном из которых (катоде) находится подложка; на катод подается RF смещение, второй электрод заземлен. RF-смещение используется в таких установках для генерации плазмы и для ускорения ионов к катоду, поэтому независимый контроль этих двух процессов невозможен. RIE процесс имеет хорошую анизотропию, но относительно невысокую скорость травления, поэтому для ускорения процесса в камеру дополнительно вводят реактивные газы.

Для RIE процессов компания SAMCO предлагает простые настольные установки типа RIE-1C, рабочие лошадки как RIE-10NR или RIE-200L (версия с камерой загрузки) так и производительные установки работающие с кассеты на кассету, например RIE-2000SQ

Установка RIE-10NR

Установка RIE-1C

Установка RIE-200L



группа компаний

КРИОСИСТЕМЫ

 

 

© 2002-2017

ГК «КРИОСИСТЕМЫ»

Все права защищены

КОНТАКТЫ

115088, Россия, Москва

"IQ-park", ул. Угрешская,

д.2, стр.22

 

+7 (495) 663-30-39

+7 (495) 663-30-67

Товар добавлен в запрос!
Список отобранного вы можете найти и отредактировать за кнопкой "Отправить запрос".