+7 (495) 663-30-39

+7 (495) 663-30-67

Установки плазмохимических процессов травления и осаждения серии STE RIE и ICP


http://www.SemiTEq.ru

Установки плазмохимических процессов травления и осаждения серии STE RIE и ICP

Установки предназначены для травления и осаждения диэлектриков с использованием комбинированного индуктивно-связанного и емкостного разряда.

pdf Обзорная брошюра в формате pdf (eng)
 
Установка STE RIE84
STE RIE84 является упрощённым вариантом установки для травления полупроводниковых, диэлектрических или металлических слоев в плазме емкостного разряда. Установка предназначена, прежде всего, для проведения эффективных лабораторных исследований и разработок.
 
Установка STE ICPe68/68L
Установки представляют собой автоматизированные станции для проведения процессов плазмохимического травления в комбинированной плазме емкостного и индуктивного разряда. Установки предназначены как для интенсивных исследований и разработок, так и для мелкосерийного выпуска продукции в составе пилотной производственно-технологической линии. В STE ICPe68 полностью реализованы все современные особенности процессов контролируемого плазмохимического травления полупроводниковых и диэлектрических слоев.
 
Установка STE ICPd81/81L
Установки представляют собой автоматизированные станции для проведения процессов плазмохимического осаждения диэлектриков (SiNx, SiO2 и т.п.) в плазме индуктивного разряда. Предусмотрена возможность встраивания в технологический кластер.


группа компаний

КРИОСИСТЕМЫ

 

 

© 2002-2017

ГК «КРИОСИСТЕМЫ»

Все права защищены

КОНТАКТЫ

115088, Россия, Москва

"IQ-park", ул. Угрешская,

д.2, стр.22

 

+7 (495) 663-30-39

+7 (495) 663-30-67

Товар добавлен в запрос!
Список отобранного вы можете найти и отредактировать за кнопкой "Отправить запрос".