+7 (495) 663-30-39

+7 (495) 663-30-67

Установки для R&D и мелкосерийного производства

Установка осаждения Solution компании CHA Industries Industries

Новая напылительная установка SOLUTION™ компании CHA Industries спроектирована для научных исследований и малого производства (в университетах, научно-исследоветельских центрах , и т.д.).
1
Несмотря на малые габариты (1220Ш x 1170 Д x 2000 В), система SOLUTION™ обладает многими характерными особенностями высокопроизводительных полномасштабных систем , таких как MARK 40 и MARK 50, полностью охлаждаемую камеру из нержавеющей стали для оптимизации температур запуска процессов. размером 460х460х610мм и объемом 127 л. Включает :

— PLC контроллер

— Есть возможность установки электронной пушки или термического источника , а также их различные комбинации.

— Предоставляется выбор откачных средств , т.е. диффузионный, криогенный или турбомолекулярный насосы.

— Широкий выбор оснастки: планетарную систему, установку под углом и др.

 

Вакуумные установки для R&D и мелкосерийного производства компании VST Service Ltd

Израильская компания VST – частная компания, образована в 1982 году и производит как серийные вакуумные установки, так и оборудование по чертежам заказчика. В линейку продукции компании входят системы осаждения тонких пленок методами магнетронного, катодного, электронно-лучевого распыления, термического испарения, вакуумные печи, тестовые вакуумные камеры, вакуумные дуговые печи, оборудование с перчаточными боксами и другое высоко- и сверхвысоковакуумное оборудование.

VST1_1 VST1_2 VST1_3
 

Серийная вакуумная установка для осаждения тонких пленок серии TFDS-462

Установка предназначена для R&D применений и сочетает в себе возможность дооснащения ее различными опциями и непревзойденное соотношение цена/возможности.В качестве источников в камере можно использовать магнетроны, термические источники, электронно-лучевую пушку, ионный источник. Небольшая камера позволяет быстро откачивать установку, выходить на рабочий режим и осуществлять несколько циклов загрузки/выгрузки в течении дня. Для более быстрой смены подложек и материалов и при высоких требованиях к чистоте процесса эту установку можно дооснастить двумя загрузочными камерами.

Установка поставляется с полным автоматическим управлением, в случаях когда бюджет заказчика ограничен возможна модификация с PLC-управлением.

Варианты вакуумных камер:

Серийная вакуумная установка для осаждения тонких пленок серии TFSP-840

Установка предназначена для R&D применений, мелкосерийного производства методом магнетронного распыления. Компактная конструкция, автоматическое или полуавтоматическое управление. Высокая адаптация к различным процессам.

VST2_1 VST2_2
VST3 Серийная вакуумная установка для осаждения тонких пленок серии TFDS-663

Установка с двумя параллельными вакуумными камерами и единой системой откачки предназначена для производственных применений, где требуется высокая производительность и небольшой бюджет.

 
VST4 Вакуумная установка для получения пленок сверхпроводников серии TFDS-2537

Установка данного типа применяется для осаждения на подложки охлажденные до сверхнизких температур. Температура образцов контролируется до 4,2 К.

 
VST5 Вакуумная установка для применений с перчаточными боксами, где требуется загружать материалы в атмосфере инертных газов серии TFDS-870
 
VST6 Серийная вакуумная установка для осаждения тонких пленок серии TFSP-995

Установка предназначена для 3D-применений, где используются 3 несбалансированных магнетрона диаметром 150 мм. Возможно осаждение материала на подложки до 300 мм диаметром.

 
Установки для научных-исследований от компании Kurt Lesker
KJL_RandD_DWG3 LAB18

Технические характеристики

  • 457х508 мм (ВхШ) цилиндрическая камера.
  • Доступна с портами для 5 источников (стадартная комплектация).
  • Доступна с 5 источниками магнетронного напыления TORUS®
  • Доступна с многокарманным источником электронно-лучевого испарения
  • Доступна с несколькими источниками термического испарения
  • Работает с подложками размером до 10 см

Дополнительная конфигурация

  • Предварительно спроектированное решение для конфигурации стандартных системных платформ от компании KJLC в многоинструментальном исполнении..
  • Стандартный контейнер QDV 450, содержащий до 3-х рабочих камер и загрузочную камеру.
  • Может быть сконфигурирован с 6-ю портами для дополнительных подключений.


группа компаний

КРИОСИСТЕМЫ

 

 

© 2002-2017

ГК «КРИОСИСТЕМЫ»

Все права защищены

КОНТАКТЫ

115088, Россия, Москва

"IQ-park", ул. Угрешская,

д.2, стр.22

 

+7 (495) 663-30-39

+7 (495) 663-30-67

Товар добавлен в запрос!
Список отобранного вы можете найти и отредактировать за кнопкой "Отправить запрос".