Низкобюджетные вакуумные установки для научных исследований компании Moorfield.

Английская компания Moorfield – небольшая частная компания, производит как небольшие серийные вакуумные установки, так и компоненты для вакуумных установок: магнетроны, кварцевые контроллеры, термические источники.

Серийная вакуумная установка для осаждения тонких пленок серии MiniLab 025 методом магнетронного распыления или термического испарения.

Установка предназначена для обучений студентов или в исследовательских работах в небольших лабораториях, Университетах или крупных Наноцентрах при отработке новых процессов. В качестве источников в камере можно использовать магнетроны (3 по 50 мм или 2 по 75 мм) или 4 термических источника. Небольшая камера позволяет быстро откачивать установку, в качестве высоковакуумного насоса используется турбомолекулярный. Установка поставляется с PLC-управлением.

• Можно использовать подложки до 150 мм в диаметре
• Бюджет установки начинается от 2 850 000 рублей

	Обзорная брошюра по продукции Moorfield в формате .pdf (eng)
	Установка для магнетронного осаждения nanoPVD S10A (рус)
	Установки для химического осаждения nanoCVD (eng)

Серийная вакуумная установка для осаждения тонких пленок серии MiniLab 060

Установка предназначена для R&D применений, мелкосерийного производства. Возможно использование магнетронов, термических источников, электронно-лучвого испарителя, источника для испарения органических материалов, ионных пушек.

Компактная конструкция, автоматическое или полуавтоматическое управление. Высокая адаптация к различным процессам и требованиям заказчика. Возможно применение подложкодержателя с нагревом, охлаждением до низких температур, подачей на него смещения, с вертикальным перемещением и другое.

• Большое количество опций, в том числе инструментов контроля
• Возможно применение загрузочной камеры (серия 080)
• Бюджет установки начинается от 4 350 000 рублей