+7 (495) 663-30-39

+7 (495) 663-30-67

Оксидные установки

Оксидная система МЛЭ компании SVTA специально разработана для выращивания высококачественной сверхпроводящей пленки и материалов на основе оксидов металлов. Камера выращивания спроектирована для работы с высоко-активным кислородным содержимым и оснащается кислородостойким нагревателем подложек. Реактивные формы кислорода генерируются либо высокочастотной плазмой, либо источником подачи озона. Базовая система состоит из двух модулей: модуля эпитаксиального роста и модуля, содержащего загрузочную камеру/буферное устройство/камеру предварительной обработки. По умолчанию система поставляется в линейной конфигурации или же под прямым углом.
oxide_system2
Обзорная брошюра на английском языке.


группа компаний

КРИОСИСТЕМЫ

 

 

© 2002-2017

ГК «КРИОСИСТЕМЫ»

Все права защищены

КОНТАКТЫ

115088, Россия, Москва

"IQ-park", ул. Угрешская,

д.2, стр.22

 

+7 (495) 663-30-39

+7 (495) 663-30-67

Товар добавлен в запрос!
Список отобранного вы можете найти и отредактировать за кнопкой "Отправить запрос".