+7 (495) 663-30-39

+7 (495) 663-30-67

Системы очистки ультрафиолетом и озоном

Настольная система очистки ультрафиолетом и озоном UV-1  

Модель UV-1 от компании SAMCO является компактной настольной системой ультрафиолетовой (УФ) и озоновой очистки, которая не повредит чувствительные электронные приборы. Простая в управлении система использует уникальную комбинацию УФ-излучения, озона и тепла для того, чтобы осторожно, но эффективно удалять органические материалы с различных подложек таких материалов как кремний, арсенид галлия (GaAs), сапфир, керамика, кварц, стекло и металлы.

pdf Презентация от компании производителя в формате pdf (eng)

Универсальная установка UV-1 предусмотрена для множества применений, таких как очистка подложек, удаление пены с фоторезиста, улучшение смачиваемости, и ультрафиолетовой вулканизации. Работая при атмосферном давлении, установка UV-1 исключает необходимость в использовании громоздких вакуумных систем с высокими эксплуатационными расходами.

 
samco_uv_oz1

Габаритные размеры

Основная часть: 450(Ш) x 400(Д) x 440(В) мм

Применения:
  • Устранение органических загрязнений
  • Предочистка подложек перед напылением/осаждением
  • Удаление пены с фоторезиста и полиимидов
  • Обработка поверхностей для лучшего сцепления
  • Увеличение охвата смазки на магнитных дисках
  • Вулканизация ультрафиолетовым излучением
  • Выращивание тонких стабильных оксидных пленок на кремнии и арсениде галлия (GaAs)
Свойства:
  • Система предусмотрена для различных образцов и подложек размером до 150мм (6”).
  • Компактное исполнение для минимизации занимаемого рабочего места.
  • Простое, интуитивно-понятное управление.
  • Управление температурой (От температуры окружающей среды до 300оС)
  • Полностью сухой процесс позволяет избежать замыкания электрических цепей.
  • Процесс при атмосферном давлении
  • Система блокировки двери
  • Включает в себя модуль катализатора озона (“ozone killer”)
Настольная система очистки ультрафиолетом и озоном UV-2 Модель UV-2 является компактной настольной системой очистки ультрафиолетом (УФ) и озоном высокой производительности. Модульный дизайн системы UV-2 может быть при необходимости сконфигурирован для различных применений, таких как очистка, счистка и вулканизация ультрафиолетовым излучением. Данная система выполнена в виде выдвижного ящика, в которой используется запатентованная технология для равномерного распределения УФ излучения и озона по поверхности подложек или других образцов. Система оснащена программируемым логическим контроллером и системой безопасности для защиты nоператора от опасного ультрафиолетового излучения и озона.

Простая в управлении система использует уникальную комбинацию ультрафиолетового излучения, озона и тепла для того, чтобы осторожно, но эффективно удалять органические материалы с различных подложек таких материалов как кремний, арсенид галлия (GaAs), сапфир, керамика, кварц, стекло и металлы.

Универсальная установка UV-2 предусмотрена для множества применений, таких как очистка подложек, удаление пены с фоторезиста, улучшение смачиваемости, и ультрафиолетовой вулканизации. Работая при атмосферном давлении, установка UV-2 исключает необходимость в использовании громоздких вакуумных систем с высокими эксплуатационными расходами. Данная система имеет европейский знак соответствия (СЕ) и сертифицирована лабораторией по технике безопасности (UL) США.

samco_uv_oz2

Габаритные размеры

Основная часть: 610(Ш) x 572(Д) x 426(В) мм

Применения:
  • Устранение органических загрязнений
  • Предочистка подложек перед осаждением (Например: GaAs перед MBE, сапфир перед HgCdTe)
  • Удаление пены с фоторезиста и полиимидов
  • Обработка поверхностей для лучшего сцепления
  • Окончательная очистка перед прикреплением подложки
  • Вулканизация ультрафиолетовым излучением
  • Выращивание тонких стабильных оксидных пленок (Ge, Si)
  • Очистка AFM наконечников
Свойства:
  • Система предусмотрена для различных образцов и подложек размером до 200мм (8 дюймов).
  • Компактное исполнение для минимизации занимаемого рабочего места.
  • Простое, интуитвно-понятное управление.
  • Прогреваемая платформа увеличивает скорость очистки/счистки
  • Широкий диапазон рабочих температур (от окружающей среды до 300оС)
  • Полностью сухой процесс позволяет избежать замыкания электрических цепей.
  • Процессы при атмосферном давлении – не требуют вакуумной системы
  • Система блокировки выдвижного ящика загрузки гарантирует нерабочее состояние системы, если он открыт
  • Автоматическая система очищает камеру UV-2 после каждого запуска.
  • Включает в себя модуль катализатора озона (“ozone killer”)
  • Герметизация камеры во время рабочего процесса предотвращает загрязнения из атмосферного воздуха
  Система очистки ультрафиолетом и озоном UV-300 Установка очистки UV-300 от компании SAMCO использует комбинацию ультрафиолетового (УФ) излучения и озона для удаления органических материалов с различных подложек, улучшения

nсмачиваемости и повышения сцепления. UV-300 является чистой, надежной и легкой в управлении системой. В отличии от систем плазменной очистки, данная система не повредит чувствительную электронику и не потребует сложной вакуумной системы с высокими эксплуатационными расходами. А также, эта система не использует грязных, корродирующих и токсичных химических веществ.

samco_uv_oz3

Габаритные размеры:

Основная часть: 550(Ш) x 430(Д) x 605(В) мм

Применения:
  • Устранение органических загрязнений
  • Предочистка подложек перед осаждением (Например: GaAs перед MBE, сапфир перед HgCdTe)
  • Удаление чернил с подложек
  • Удаление пены с фоторезиста и полиимидов
  • Обработка поверхностей для лучшей адгезии
  • Увеличение охвата смазки на магнитных дисках
  • Вулканизация ультрафиолетовым излучением
  • Выращивание тонких стабильных оксидных пленок на кремнии и арсениде галлия
Свойства:
  • Большая рабочая камера приспособлена для подложек диаметром до 300 мм.
  • Вращаемая подставка для подложек обеспечивает однородность в очистке/счистке с поверхности подложек
  • Встроенный модуль «ozone killer» позволяет устранить озон из выхлопа
  • Простота в управлении
  • Управление температурой (от комнатной  до 300оС)
  • Полностью сухой процесс предотвращает замыкания  электрических цепей
  • Работа при атмосферном давлении
  • Безопасная блокировка двери
Система очистки ультрафиолетом и озоном UV-300Н Установка UV-300H использует комбинацию ультрафиолетового (УФ) излучения, высокую концентрацию озона и контролируемый прогрев, что обеспечивает эффективную очистку и счистку без повреждения электрических цепей. Подложки загружаются в систему через выдвижной ящик. Данная система применяется для удаления чернил, золение полиимидов и фоторезиста, а также для очистки органических загрязнений.

Эта высокопроизводительная система обеспечивает скорость золения фоторезиста до 5000 A/мин и обладает многочисленными модулями безопасности для защиты оператора и самой системы. Установка UV-300H работает при  атмосферном давлении и не требует громоздкой вакуумной системы с высокими эксплуатационными расходами.

samco_uv_oz4

Габаритные размеры:

Основная часть: 698(Ш) x 800(Д) x 1306(В) мм

Применения:
  • Счистка фоторезиста и полиимида
  • Устранение чернил с подложек СППЗУ без удаления программ
  • Устранение органического загрязнения с подложек перед напылением тонких пленок
  • Подготовка поверхностей для смазки или фоторезиста
  • Удаление пены фоторезиста и резиста электронного луча
  • Очистка перед соединением подложек
Свойства:
  • Использует уникальную комбинацию ультрафиолетового света, озона высокой концентрации и контролируемый прогрев для эффективной очистки
  • Мягкий, полностью сухой рабочий процесс не повредит электрические цепи
  • Легкая загрузка подложек в виде выдвижного шкафа
  • Компактное исполнение системы, использующее минимальное количество рабочего места
  • Контроль температуры (от комнатной до 300оС)
  • Работает при атмосферном давлении – вакуумная система не требуется
  • Система безопасности включает в себя: блокировку выдвижного ящика, автоматический цикл очистки рабочей камеры, блокировку давления, блокировку охлаждаемой воды, газоочиститель для озона и система аварийного отключения
Система очистки ультрафиолетом и озоном UV-300НС Установка UV-300HC является полной системой для сухой очистки ультрафиолетом и озоном оснащенной кассетным механизмом за зачистки фоторезиста и устранения всех типов органических соединений, используя как ультрафиолетовое излучение, так и озон высокой концентрации. Эта система включает в себя две кассеты с 12 лотками в каждой кассете.

samco_ uv_oz5

Габаритные размеры:

Основная часть: 1100(Ш) x 1740(Д) x 1625(В) мм

samco_uv_oz6

Применения:
  • Счистка фоторезиста и полиимида
  • Устранение чернил с подложек СППЗУ без удаления программ
  • Устранение органического загрязнения с подложек перед напылением тонких пленок
  • Подготовка поверхностей для смазки или фоторезиста
  • Удаление пены фоторезиста и резиста электронного луча
  • Очистка перед соединением подложек
Свойства:
  • Использует уникальную комбинацию ультрафиолетового света, озона высокой концентрации и контролируемый прогрев для эффективной очистки
  • Возможность работы от кассеты к кассете.
  • Максимум 2 кассеты с 12 лотками на каждую кассету
  • Оснащена рукой роботом для перемещения
  • Кварцевые 205мм лотки с девятью 50 мм ячейками
  • Также система имеет подставку для охлаждения
  • Два генератора для озона высокой консетрации
  • Контроль температуры (от комнатной  до 300oС)
  • Работает при атмосферном давлении – вакуумная система не требуется
  • Сенсорная панель управления


группа компаний

КРИОСИСТЕМЫ

 

 

© 2002-2017

ГК «КРИОСИСТЕМЫ»

Все права защищены

КОНТАКТЫ

115088, Россия, Москва

"IQ-park", ул. Угрешская,

д.2, стр.22

 

+7 (495) 663-30-39

+7 (495) 663-30-67

Товар добавлен в запрос!
Список отобранного вы можете найти и отредактировать за кнопкой "Отправить запрос".