+7 (495) 663-30-39

+7 (495) 663-30-67

Ионные имплантеры

В этой главе представлены ионные имплантеры компании IBS (Франция), которая производит серию собственных имплантеров среднего тока (IMC™)  для 4,5 и 6-дюймовых производств и научных-исследований.  В частности, ниже представлены основные характеристики имплантеров IMC200P и PIII.
Информационная статья на тему: «Введение в ионную имплантацию»
Презентация ионных имплантеров компании IBS (Франция)
Модели IMC200P и PIII:
system1
Имплантер IMC200P:
  • Совместим с подложками из Si, SiC, GaAs, Al2O3
  • Размер подложек 4, 5 и 6 дюймов
  • Высоко-производительный робот для передачи подложек
  • Высокий процент рабочего времени: более 80%  время Highuptime (morethan 80%)
  • Малая занимаемая площадь: менее 9м2)
  • Программноеnобеспечение ориентированное на производство с многоуровневой системой доступа
  • Низкая стоимость эксплуатации
Характеристики:
  • Энергия от 2 кэВ до 200 кэВ
  • Наклон подложек от 0° до  15°
  • Ионные источники Freeman / Bernas / IHC (катод с непрямым нагревом)
  • Имплантация с двойным зарядом
  • Система доставки жидких компонентов
  • Газо-подача SDS® / UPTIME® / HP
  • Охлаждение обратной сороны подложек H2 / Ar
  • Лучевая линия, покрытая кремнием
system2
Имплантер PIII: Разработанный для наноэлектроники и нанотехнологийnпервый имплантер PIII (Plasma Immersion Ion Implant). Одна из его конфигураций PULSION Nano производит ультра низкую энергию (до 20 эВ) и создана для работы с подложками от 4 до 6 дюймов. Уникальная комбинация свойств этого имплантера такими, как широкий диапазон энергий, широкая шкала токов и газов для различных приложений, позволяет использовать его во многих приложениях, таких как high k, нанокристаллы, разработка подложек, солнечные элементы, и многих других.


группа компаний

КРИОСИСТЕМЫ

 

 

© 2002-2017

ГК «КРИОСИСТЕМЫ»

Все права защищены

КОНТАКТЫ

115088, Россия, Москва

"IQ-park", ул. Угрешская,

д.2, стр.22

 

+7 (495) 663-30-39

+7 (495) 663-30-67

Товар добавлен в запрос!
Список отобранного вы можете найти и отредактировать за кнопкой "Отправить запрос".