+7 (495) 663-30-39

+7 (495) 663-30-67

Безмасляные винтовые форвакуумные насосы компании HANBELL (Тайвань)

серии PS PD iPH

Безмасляные винтовые форвакуумные насосы Hanbell отвечают всем требованиям современного производства и технологий по созданию чистого вакуума. Исключительно надежны и производительны, обладают высокой степенью чистоты создаваемого вакуума, при этом экономичны в эксплуатации (низкое энергопотребление) и не занимают много места (компактны).

Особенности и опции безмасляных винтовых вакуумных насосов Hanbell:

Области применения безмасляных винтовых вакуумных насосов:

Безмасляные винтовые вакуумные насосы HANBELL серии PS & PD

Безмасляные форвакуумные насосы серии PS и PD незаменимы в технологических процессах откачки: обеспечивают необходимый уровень вакуума как в чистых, так и в «грязных» применениях.

Насосы серия PS являются комплексным решением, они обеспечивают высокую скорость откачки, имеют прочную конструкцию и интеллектуальный контроллер.

Серия PD основана на серии PS с обновленной конструкцией винтового ротора для обеспечения энергосберегающего решения.

Область применения:

 

 

 

Технические характеристики насосов серии PS

*1. Для различных применений давления и расходы будут немного отличаться.
*2. Классификация модели и описание ее применения. PS/PD(XXX)-(Y)(Z)(V). Для DP из PDE800/ PDE3012 используется электромотор с воздушным охлаждением.

*3. Для размера типа – A.
*4. На максимальной номинальной мощности электродвигателя, также ограничено температурой мотора (электромотор с воздушным охлаждением без температурного датчика).

 

Кривые скорости откачки насосов серии PS

Кривые скорости откачки насосов серии PD

 

 

 

Технические характеристики насосов серии PD

*1. Для различных применений давления и расходы будут немного отличаться.
*2. Классификация модели и описание ее применения. PS/PD(XXX)-(Y)(Z)(V). Для DP из PDE800/ PDE3012 используется электромотор с воздушным охлаждением.
*3. Для размера типа – A.
*4. На максимальной номинальной мощности электродвигателя, также ограничено температурой мотора. (Электромотор с воздушным охлаждением без температурного датчика).

Для серии PS/PD возможны другие исполнения.

Серия PSE/PDE: Если охлаждающая вода плохого качества, то может использоваться вариант насоса с воздушным охлаждением, кожух для воздушного охлаждения в комплекте.

Серия PSC/PDC: С-фланцы для NEMA (Национальная ассоциация изготовителей электрооборудования США) или МЭК, специальное покрытие, специальный сальник вала.

 

 

 

Насос для «грязных» технологических процессов: серия iPH

Винтовой насос серии iPH имеет большую производительность и широко применяется особенно в «грязных» технологических процессах.

Превосходные характеристики насоса обеспечиваются коротким газовым трактом и оригинальной конструкцией уплотнения профиля ротора.

Уникальные характеристики:

  • Экономия энергии 25% по сравнению с предыдущим исполнением и режим «Green mode»
  • За счет оригинального решения терморегулирования исключается образование холодных участков в насосе
  • Оптимальный размер насоса позволяет быстро и без проблем ввести прибор в эксплуатации

Область применения:

  • Травление
  • Ионная имплантация
  • Химическое осаждение в плазме высокой плотности HDP-CVD
  • Избирательное химическое осаждение из паровой фазы SACVD
  • Химическое осаждение из паровой фазы металлоор- ганических соединений MOCVD
  • Плазмохимическое осаждение из паровой фазы PECVD
  • Химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении LPCVD
  • Атомно-слоевое осаждение ALD

Скорость откачки (л/мин)

 

Технические характеристики насосов серии iPH

 

Позвоните нам +7 (495) 663-30-39 или напишите info@cryosystems.ru,
и мы подберем оборудование соответствующее вашей задаче.



группа компаний

КРИОСИСТЕМЫ

 

 

© 2002-2017

ГК «КРИОСИСТЕМЫ»

Все права защищены

КОНТАКТЫ

115088, Россия, Москва

"IQ-park", ул. Угрешская,

д.2, стр.22

 

+7 (495) 663-30-39

+7 (495) 663-30-67

Товар добавлен в запрос!
Список отобранного вы можете найти и отредактировать за кнопкой "Отправить запрос".