+7 (495) 663-30-39

+7 (495) 663-30-67

Квадрупольный масс-спектрометр (анализатор) остаточных газов

Современные полупроводниковые технологии достигли нано-уровня и тематика многих исследований и производств, так или иначе ставит задачу стабильного воспроизведения химических/физических условий процесса. Особое внимание обращается на измерение и анализ остаточного газа в рабочих камерах различных вакуумных систем. HORIBA STEC предлагает анализаторы остаточного газа (RGA) с самым маленьким в мире квадрупольным масс-спектрометром.Самое маленькое в мире исполнение системы масс-спектрометрии :
  • самая маленькая и легкая в мире;
  • построена на девяти парах квадруполей;
  • может работать в условиях низкого вакуума (высокого давления) 1,46 Па (11 мТорр);
  • высокая скорость измерения. Скорость сканирования: 0,6 сек/масс. Разрешение: 0,5 AMU. Предел обнаружения: 1-10-8 Па;
  • используются съемные и легло заменяемые сенсорные головки;
  • не требует дегазации;
  • возможность соединения с фланцем CF35;
  • доступны различные графические режимы для анализа остаточного газа.
Принцип измерения

Анализатор MicroPole™

Характеристики, которыми обладает анализатор остаточных газов Micropole™, обеспечиваются уникальным анализатором MicroPole™ (MPA), состоящий из девяти квадруполей, которые включают в себя все преимущества технологии обработки ультра-прецизионным оптическим травлением и технологии стыков стекло/металл. Развитие MPA позволило создать самый маленький в мире анализатор остаточного газа с похожей или лучшей чувствительностью по сравнении с традиционными и большими масс-спектрометрами. Сенсорный блок анализатора уже откалиброван под парциальное давление, и позволяет получить полное абсолютное и парциальные давления остаточных газов.

Сенсор MPA7/SMPA7
Тип сенсора Анализатор (Тип сенсора 7-2/65) Анализатор (Тип сенсора 5-2/100)
Максимальное выходное возрастающее давление(по азоту), Па 0,5 0,2
Максимальное рабочее давление (по азоту), Па 0,9 0,6
Минимальное определяемое парциальное давление, Па 5*10-6 (70эВ) 5*10-6 (70эВ)
Разрешение, AMU 1,2 +/- 0,3 1,0 +/- 0,3
Максимальная температура прогрева, оС 350
Максимальна рабочая температура, оС 150
Тип соединения MPA: CF34 (ICF 34)
SMPA: CF34 (ICF 34), ISO-KF16 (NW 16)
Вес MPA: Фланец CF34, 50 г
SMPA: Фланец ISO-KF16, 50 г
SMPA: Фланец CF34, 70 г
Нить накала Y2O3/Ir 2шт.
RoHS Совместимый
 
Генератор спектра [QL-SG01-065] [Ql-SG01-100]
Тип генератора QL-SG01-065 Ql-SG01-100
Диапазон масс, AMU 2-65 2-100
Тип фильтра масс Квадруполь
Детектор Чаша Фарадея
Скорость сканирования измерений 1 с/скан для одного газа (10 с/скан для 10 газов)
Напряжение ионизации, эВ 43 или 70
Рабочая температура, оС 15 – 45
Рабочая влажность, %RH 30 – 80 (без конденсации)
Вес (с учетом специального фланца для серии SMPA), г 565
Габаритные размеры, ШхДхВ 150х62х47
Коммуникации RS485; 9,6K/19.2K/38.4 Kbps
Электроэнергия DC 24V +/-5%, 70VA
Тип соединения PRC05-R6M
Мониторинг/Управление Управляющая программа (QL-MC01) или программное обеспечение (QL-MS01)
Европейский знак соответствия, CE Соответствие
RoHS Соответствие


группа компаний

КРИОСИСТЕМЫ

 

 

© 2002-2017

ГК «КРИОСИСТЕМЫ»

Все права защищены

КОНТАКТЫ

115088, Россия, Москва

"IQ-park", ул. Угрешская,

д.2, стр.22

 

+7 (495) 663-30-39

+7 (495) 663-30-67

Товар добавлен в запрос!
Список отобранного вы можете найти и отредактировать за кнопкой "Отправить запрос".