+7 (495) 663-30-39

+7 (495) 663-30-67

Характеристики компактных испарителей жидкостей серии MI/MV

Logo_Horiba

Свойства и преимущества серии MI:

  • компактные;
  • пьезоэлектрический привод;
  • используют газоноситель для эффективного процесса испарения;
  • поддержание точной температуры за счет встроенного нагревателя, термопары и PID контроля;
  • испарение низкокипящих и вязких жидкостей;
  • функция контроля расхода на выходе;
  • работает в условиях вакуума и при атмосферном давлении.
isp_i_gaz_1
isp_i_gaz_2

Основные шаги процесса испарения рабочих жидкостей и подачи их в технологическую камеру:

  1. Измеряется расход рабочей жидкости из источника и расход контролируется клапаном посредством системы обратной связи.
  2. Жидкость полностью и мгновенно испаряется.
  3. Образующийся газ подается в технологическую камеру без реконденсации в жидкую фазу.

 

Компактные испарители серии MI/MV

Для своей работы используют массовый расходомер жидкости, а также РРГ, который контролирует ввод газаносителя в испаритель.
Принцип работы испарителей серии MI показан на рисунке ниже.

isp_i_gaz_3

Свойства и преимущества серии MV:

isp_i_gaz_4

МодельMI-1000MV-1000
Тип жидкостиВсе жидкости, кроме коррозионных к нержавеющей стали (например, HCl и HF)
Пример создания потока: TEOS (до 7г/мин), IPA (до 3сс/min)Макс. 5,0 CCM перевод (перевод жидкой фазы)
Нагреватель120 В (100 Вт)/208 В (100 Вт)/240 В(100 Вт)Контрольный клапан: 120 В (100 Вт)/ 208 В (100 Вт)/240 В(100 Вт) Испаритель
Смачиваемые частиSUS316L, PFA
Настройки температурыМакс. 140°СУправляющий клапан: макс. 140°С  Испаритель: макс. 200°С
Датчик температурыТермопара К типаТермопара К типа (Управляющий клапан, испаритель)
Выключатель температурыВысокий допуск 2450RC 160°С (ELMWOOD) типа NCУправляющий клапан: 2450RC 160°С (ELMWOOD) типа NC Испаритель: 2450RC 250°С (ELMWOOD) типа NC
Наружные утечкиМенее чем 1×10-8 Па·м3/с (He)
Полные утечкиУправляющий клапан: менее чем 1×10-6 Па·м3/с (He) Вариант с воздушным клапаном: менее чем 1×10-9 Па·м3/с (He)Управляющий клапан: менее чем 1×10-6 Па·м3/с (He) Испаритель: менее чем 1×10-9 Па·м3/с (He)
Стандартное соединениеВход для жидкости 1/8” VCR «папа», вход для газа 1/4” VCR «мама», выход для газа 1/4” VCR «папа»Вход для жидкости 1/8” VCR «папа», вход для газа 1/4” VCR «мама», выход для газа 1/2” VCR «папа»
Рабочая температураОт 15 до 50°СОт 15 до 50°С
Сопротивление давления1,0 МПа (G)1,0 МПа (G)
ОпцииПневматический клапанПневматический клапан
Масса (без кабеля)620±10 г (Стандартное исполнение), 700±10 г (исполнение с воздушным клапаном)1110±10 г (Стандартное исполнение), 1190±10 г (исполнение с воздушным клапаном)

 

Габаритные размеры

isp_i_gaz_5



группа компаний

КРИОСИСТЕМЫ

 

 

© 2002-2017

ГК «КРИОСИСТЕМЫ»

Все права защищены

КОНТАКТЫ

115088, Россия, Москва

"IQ-park", ул. Угрешская,

д.2, стр.22

 

+7 (495) 663-30-39

+7 (495) 663-30-67

Товар добавлен в запрос!
Список отобранного вы можете найти и отредактировать за кнопкой "Отправить запрос".